精品国产亚洲国产亚洲,久热中文在线观看精品视频,成人三级av黄色按摩,亚洲AV无码乱码国产麻豆

努美(北京)科技有限公司

BUSINESS

當(dāng)前位置:> 供求商機(jī)> PEPS II-TMC主動(dòng)空氣隔振調(diào)平系統(tǒng)

[供應(yīng)]PEPS II-TMC主動(dòng)空氣隔振調(diào)平系統(tǒng)

貨物所在地:北京北京市

產(chǎn)地:美國

更新時(shí)間:2024-05-23 13:42:29

有效期:2024年5月23日 -- 2025年5月23日

已獲點(diǎn)擊:17

收藏
舉報(bào)

聯(lián)系我時(shí),請告知來自 化工儀器網(wǎng)

TMC主動(dòng)空氣隔振調(diào)平系統(tǒng),PEPS II建立在TMC的*利PEPS(精密電子定位系統(tǒng))基礎(chǔ)上并對其進(jìn)行了改進(jìn)。通過添加新的數(shù)字控制器,PEPS II更易于使用,提供了更多功能,還有一個(gè)改進(jìn)的用戶界面。

TMC主動(dòng)空氣隔振調(diào)平系統(tǒng)PEPS II

PEPS II建立在TMC的*利PEPS(精密電子定位系統(tǒng))基礎(chǔ)上并對其進(jìn)行了改進(jìn)。通過添加新的數(shù)字控制器,PEPS II更易于使用,提供了更多功能,還有一個(gè)改進(jìn)的用戶界面。PEPS II是一種用于TMC氣動(dòng)隔振系統(tǒng)的數(shù)字非接觸式高度控制系統(tǒng)。這種系統(tǒng)通常包括機(jī)械高度閥和機(jī)械高度傳感連桿。其應(yīng)用包括需要改善穩(wěn)定時(shí)間和提高產(chǎn)量的半導(dǎo)體制造設(shè)備以及需要最佳噪聲性能和平臺穩(wěn)定性的精密實(shí)驗(yàn)室環(huán)境。

TMC主動(dòng)空氣隔振調(diào)平系統(tǒng)

TMC主動(dòng)空氣隔振調(diào)平系統(tǒng)PEPS II特點(diǎn)

●數(shù)字控制,用戶友好的LCD界面

●用于Gimbal Piston、CSP和MaxDamp隔振系統(tǒng)的非接觸式電動(dòng)氣動(dòng)高度控制

Z軸位置重現(xiàn)性:10微米

●由于消除了傳統(tǒng)機(jī)械高度控制系統(tǒng)的杠桿接觸點(diǎn),從而改善了隔振效果

●氣動(dòng)前饋功能最大限度地減少了Z軸對X-Y平臺運(yùn)動(dòng)的反應(yīng)

●可以調(diào)整以快速穩(wěn)定由X-Y平臺引起的運(yùn)動(dòng)

●可選的“VX"功能集成了慣性傳感器,用于主動(dòng)阻尼垂直隔振器共振

●與“軟塢站"兼容。允許在沒有運(yùn)動(dòng)安裝的情況下加載/卸載晶圓

●相稱的電子閥門?!伴_關(guān)"或傳統(tǒng)電子閥不會產(chǎn)生脈沖噪聲

●排氣管用于廢氣的清潔處理

●邏輯??靠刂坪蜖顟B(tài)


規(guī)格

物理尺寸

PEPS II控制器

1.72英寸(43.7mm)高 x 8.0英寸(203mm)寬 x 9.4英寸(240 mm)深

重量

PEPS II控制器:約3.0磅(1.2千克)

環(huán)境
(參見EN 61010-1:1993,
EN 61010-1/A2: 1995)

僅限室內(nèi)使用,最高2,000米海拔(6560英尺)
最大允許溫度范圍:5°C至35°C
最大允許濕度:31°C以下時(shí)為80%,40°C時(shí)線性降至50%相對濕度
主電源電壓容差:85 VAC - 240 VAC
過電壓類別:2
污染等級(IEC 664):2
通風(fēng)要求:兩側(cè)間隙25毫米,上下間隙0毫米

電源要求

電源輸入電壓范圍:90-230 VAC
輸入頻率范圍:50-60 Hz

PEPS II用戶界面
(前面板)

電源開關(guān)
4個(gè)菜單按鈕
LCD顯示20 x 2個(gè)字符
2個(gè)診斷插座(BNC型)
三色狀態(tài)指示燈
USB 端口

PEPS II 界面
(后面板)

帶EMI濾波器的交流電源輸入
1個(gè)空氣輸入卡入式端口,用于1/4英寸外徑管道
1個(gè)空氣輸出(排氣)卡入式端口,用于1/4英寸外徑管道
4個(gè)空氣卡入式端口,用于1/4英寸外徑管道(每個(gè)隔振器一個(gè))
DB-25公頭輸入端-輸出端和前饋插座
1個(gè)Phoenix 0.2英寸間距6引腳綠色接頭(垂直接近傳感器)
1個(gè)Phoenix 3.5毫米間距6引腳黑色接頭(水平接近傳感器)
接地螺紋螺柱(#10-32螺紋)
DB-25 F插座:1個(gè)數(shù)字輸入端,3個(gè)地震檢波器傳感器接口(“-VX"選件)
DB-25 F插座:1個(gè)數(shù)字輸入端,3個(gè)電流輸出接近傳感器(可選)

PEPS II
性能規(guī)格

模擬輸入(單極):8 x 12位(16位使用過采樣),0 ... 3.0 V滿量程
模擬輸入(前饋):5 x 12位
(16位使用過采樣),±9 V滿量程
模擬輸入(單極)保護(hù):+5伏,-0.5 V限幅
模擬輸入(前饋)保護(hù):±15伏限幅
模擬輸出:4 x 12位(16位使用采樣),0 ... 3.0 V滿量程
模擬輸出(可選):8 x 16位,0 ... 3.0 V滿量程
模擬輸出保護(hù):無限短路保護(hù),+5伏限幅
數(shù)字輸入電壓額定值:0 ... +3.3 V,+5 V容差(+5伏限幅)
數(shù)字輸出額定值:0 ... + 3.3 V,最大20 mA
數(shù)字I/O保護(hù):+5伏,-0.5伏限幅
外部可用電源:+5 VDC,最大2.0 A;+15 VDC,最大1.0 A(最大20瓦)
通訊端口:USB,在PC上顯示為RS-232
處理器:ARM7TDMI / 41.78 MHz
控制回路率:100 Hz - 2.0 KHz
接近傳感器:3個(gè)垂直、(3個(gè)水平可選)渦流,NAMUR 0-20 mA輸出
速度傳感器 - 地震檢波器(“-VX"選件):3個(gè)垂直,電流輸出

氣動(dòng)規(guī)格

長期高度穩(wěn)定性:±50微米
長期傾斜穩(wěn)定性:±50微弧度
伺服閥:4 x 雙向可變節(jié)流孔比例伺服閥
閥門技術(shù):純甲類
最大輸入壓力:120 PSI或8.3巴或830 KPa
標(biāo)稱耗氣量:60標(biāo)準(zhǔn)升/分鐘(2標(biāo)準(zhǔn)立方英尺/分鐘)
空氣要求:潔凈、干燥的空氣,過濾至20微米或以上
故障安全:隔振器在電源故障或斷電時(shí)會放氣
氣動(dòng)接頭:“一觸式"快速接頭,適用于1/4英寸外徑軟管








性能

TMC主動(dòng)空氣隔振調(diào)平系統(tǒng)




會員登錄

×

請輸入賬號

請輸入密碼

=

請輸驗(yàn)證碼

收藏該商鋪

X
該信息已收藏!
標(biāo)簽:
保存成功

(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)

常用:

提示

X
您的留言已提交成功!我們將在第一時(shí)間回復(fù)您~
撥打電話 產(chǎn)品分類
在線留言
欧美亚洲另类久久久精品-国产精品一区二区亚洲推荐| 精品亚洲卡一卡2卡三卡乱码-一区三区二插女人高潮在线观看| 亚洲最新国产无人区123-黄片一区二区在线观看| 欧美字幕一区二区三区-好吊妞欧美一区二区在线观看| 熟妇勾子乱一区二区三区-欧美爱爱视频一区二区| 色噜噜噜噜一区二区三区-欧美最猛黑人做爰视频| 欧美精品一区二区不卡-精品国产一区二区三区香蕉网址| 日本韩国亚洲欧美三级-日本东京不卡网一区二区三区| 亚洲女人黄色录像一区-日韩av电影在线免费看| 中文字幕精品一区二区日本99-青青国产成人久久91网| 国产黄污网站在线观看-成人av电影中文字幕| 国产av剧情护士麻豆-三级国产精品欧美在线观看| 国产美女网站在线观看-国产精品亚洲综合网69| 欧美日韩黑人在线播放-51在线精品免费视频观看| 欧美一级二级三级在线看-日韩精品欧美嫩草久久99| 国产美女网站在线观看-国产精品亚洲综合网69| 99久久精品一区二区成人-麻豆国产av玩弄放荡人妇系列| 国产在线观看高清精品-四季av一区二区三区中文字幕| 欧美黄色三级视频网站-国产九九热视频在线观看| 精彩亚洲一区二区三区-中文字幕中文字幕在线色站| 18禁真人在线无遮挡羞免费-中文字幕精品一区二区三区四区| 成人免费黄色在线网站-日韩精品一区二区三区四区在线| sobo欧美在线视频-免费av网址一区二区| 少妇人妻无码久久久久久-综合图片亚洲网友自拍| 日韩欧美国产综合久久-国产精品一起草在线观看| 国产一区二区无套内射-国内精品久久久久久久齐pp| 国产精品一区二区在线免费-久久精品国产亚洲av热明星| hd在线观看一区二区-免费一区二区三区毛片在线| 欧美一区二区三区调教视频-三上悠亚国产精品一区二区三区| 欧美日韩黑人在线播放-51在线精品免费视频观看| 久久亚州天堂一区二区-色噜噜色哟哟一区二区三区| 亚洲精品激情一区二区-久久成人国产欧美精品一区二区| 久久网站中文字幕精品-三级精品久久中文字幕| 日韩国产一区二区三区在线-精品日韩人妻少妇av| 婷婷亚洲欧美综合丁香亚洲-超刺激国语对白在线视频| 亚洲愉拍自拍欧美精品app-亚洲一区不卡在线视频| 国产精品久久99精品毛片-国产四季高清一区二区三区| 国产免费高清av在线播放-成年人在线播放中文字幕| 两性污污视频网站在线观看-亚洲欧美日韩激情一区| 国产欧美一区二区三区嗯嗯-欧美一区二区日本国产激情| 久艹在线观看视频免费-人妻偷人精品一区二区三区|