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上海昊量光電設(shè)備有限公司

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上海昊量白光干涉儀優(yōu)勢及應(yīng)用領(lǐng)域

閱讀:2374      發(fā)布時間:2020-9-22
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  白光干涉儀優(yōu)勢:
 
  價格優(yōu)勢:市場上性價比的白光干涉儀。
 
  簡單易用:只需將樣品放置于樣品臺上,即可直接進(jìn)行測量;
 
  可以測量非接觸式非平坦樣品:由于光學(xué)輪廓測量法是一種非接觸式技術(shù),可以輕松測量彎曲和其他非平面表面。還輕松地測量曲面的表面光潔度,紋理和粗糙度。除此之外,作為一種非接觸式方法光學(xué)輪廓儀不會像探針式輪廓儀那樣損壞柔軟的薄膜。
 
  無需更換耗材:只需要一個LED光源,無需其他配件更換;
 
  可視化3D功能:Xper WLI輪廓儀具有強(qiáng)大的處理軟件,軟件除包括表面粗糙度,形狀和臺階高度的測量外,還可以任意角度移動樣品量測三維圖形,多角度分析樣品圖像。
 
  白光干涉儀應(yīng)用領(lǐng)域:
 
  納米尺度的厚度和輪廓檢測
 
  WLI和PSI模式轉(zhuǎn)換
 
  工業(yè)應(yīng)用:樣品和輪廓檢測
 
  樣品類型:半導(dǎo)體晶圓,納米器件,生物材料,MEMS:微電子機(jī)械系統(tǒng),lED發(fā)光二極管

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