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 　　膜厚測量儀主要采用了X射線熒光光譜技術(shù)（XRF技術(shù)），通過發(fā)射出的X射線來對材料內(nèi)部的分子結(jié)構(gòu)進行分析，從而得到材料的厚度和組成。X射線通過材料后，與材料中的元素反應(yīng)并產(chǎn)生熒光信號，該熒光信號的波長和強度反映了樣品中的元素種類和含量。通過這種方式來測量薄膜的厚度以及成分。