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更新時(shí)間：2021-06-02 09:46:18瀏覽次數(shù)：2995評(píng)價(jià)
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納米精度，大行程電動(dòng)平移臺(tái)！
所屬類別：光機(jī)產(chǎn)品/精密定位控制系統(tǒng) » 電動(dòng)平移臺(tái)
技術(shù)服務(wù)人員：李工(William)
納米精度電動(dòng)平移臺(tái)。
電控位移臺(tái)也稱為電控平移臺(tái)是一種依靠步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)的執(zhí)行裝置，通過絲杠將步進(jìn)電機(jī)的角位移轉(zhuǎn)換為平臺(tái)位移。通常情況下該系統(tǒng)由三部分組成：位移臺(tái)、電機(jī)和控制器。驅(qū)動(dòng)電機(jī)及控制器主要決定驅(qū)動(dòng)扭矩、分辨率、加減速度、信號(hào)處理等性能參數(shù)。位移臺(tái)則是系統(tǒng)的心臟，主要指標(biāo)參數(shù)有位移精度、行程、負(fù)載、穩(wěn)定性、適用環(huán)境等。
上海昊量光電設(shè)備有限公司推出的電動(dòng)平移臺(tái)傳動(dòng)螺桿采用滾珠絲杠實(shí)現(xiàn)高速平穩(wěn)運(yùn)動(dòng)，*的螺桿品質(zhì)使平移臺(tái)擁有的分辨率、定位精度。采用超高等級(jí)交叉滾珠導(dǎo)軌，具有超高的運(yùn)動(dòng)性能。該系統(tǒng)采用光柵尺閉環(huán)控制，在確保大行程的同時(shí)，分辨率達(dá)到了1nm。按照定位精度區(qū)分，我司平移臺(tái)可分為 1nm高精度位移臺(tái)、5納米精度和10納米精度位移臺(tái)、亞微米精度位移臺(tái)。
1）1nm高精度電控位移臺(tái)。
該系類位移臺(tái)可分為諧波齒輪5相步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)和普通的5相步進(jìn)電機(jī)兩種類型的平移臺(tái)。采用光柵尺位置反饋閉環(huán)控制使其分辨率可達(dá)到1納米，重復(fù)定位精度可達(dá)到±2nm，可提供20mm、40mm和50mm三種不同的行程，并可以組裝成多維電控運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)。
2）5nm精度電控位移臺(tái)
該系類產(chǎn)品是一款擁有5納米定位精度的閉環(huán)控制平移臺(tái)，可提供 20mm、40mm、和50mm三個(gè)不同的行程，由于采用光柵尺位置編碼閉環(huán)反饋控制，使其擁有優(yōu)秀的分辨率、定位精度及重復(fù)定位精鍍。
3）10nm精度電控位移臺(tái)
該系類電控位移臺(tái)是擁有10nm分辨率的閉環(huán)反饋定位系統(tǒng)。其采用光學(xué)線性位置編碼器，在提供大行程的同時(shí)，使設(shè)備擁有較高的精度。該系類評(píng)議臺(tái)可提供20mm、40mm、50mm、100mm、120mm、150至200mm等不同行程的電控位移臺(tái)。
4）亞微米分辨率電控位移臺(tái)
該系類位移平臺(tái)是指分辨率可達(dá)到亞微米精度的精密運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)。該系統(tǒng)也是光學(xué)編碼閉環(huán)控制，精度可達(dá)到50-100nm，可提供20mm、40mm、50mm、100mm、120mm、150至200mm等不同行程的電控位移臺(tái)，并可以根據(jù)需求組成二維電控平移臺(tái)。
此外該系列平移臺(tái)提供在真空條件下的同規(guī)格的電控平移臺(tái)，可承受的真空度可達(dá)到10-4Pa，相當(dāng)于10-6 torr的真空度。
主要特點(diǎn)
主要應(yīng)用
超精密激光加工、超精密三維掃描測(cè)量、全自動(dòng)計(jì)量?jī)x器檢測(cè)設(shè)備、工業(yè)自動(dòng)化等領(lǐng)域。
主要參數(shù)：
型號(hào) | 行程(mm) | 最大負(fù)(N) | 分辨率(nm) | 重復(fù)定位精(nm) | 最大移動(dòng)速度(mm/s) |
AU-FS-1020 SPX（MD） | 20 | 49 | 1 | ±2 | 0.4 |
AU-FS-1040 SPX（MD） | 40 | 49 | 1 | ±2 | 0.5 |
AU-FS-1050 SPX（MD） | 50 | 98 | 1 | ±2 | 0.5 |
AU-FS-1020UPX | 20 | 49 | 1 | ±2 | 5 |
AU-FS-1040UPX | 40 | 49 | 1 | ±2 | 5 |
AU-FS-1050UPX | 50 | 98 | 1 | ±2 | 5 |
AU-FS-1020 SPX | 20 | 49 | 5 | ±10 | 5 |
AU-FS-1040 SPX | 40 | 49 | 5 | ±10 | 5 |
AU-FS-1050 SPX | 50 | 98 | 5 | ±10 | 5 |
AU-FS-1020 PX | 20 | 49 | 10 | ±20 | 10- |
AU-FS - 1040 PX | 40 | 49 | 10 | ±20 | 10- |
AU-FS - 1050 PX | 50 | 98 | 10 | ±20 | 10- |
AU-FS-1100 PX | 100 | 98 | 10 | ±20 | 10- |
AU-FS-3150PX | 150 | 98 | 10 | ±20 | 10- |
AU-FS-3200 PX | 200 | 196 | 10 | ±20 | 20 |
亞微米精度電控位移臺(tái)參數(shù)：
型號(hào) | 行程（mm） | 最大負(fù)載(N) | 分辨率(nm) | 重復(fù)定位精度(nm) | 最大移動(dòng)速度(mm/s) | ||
FC-411 | FC-111 | FC-411 | FC-111 | ||||
FS-1020X | 20 | 49 | 50 | 100 | ±100 | ±200 | 10 |
FS-1040X | 40 | 49 | 50 | 100 | ±100 | ±200 | 10 |
FS-1050X | 50 | 98 | 50 | 100 | ±100 | ±200 | 10 |
FS-1100X | 100 | 98 | 50 | 100 | ±100 | ±200 | 10 |
FS-3150X | 150 | 98 | 50 | 100 | ±100 | ±200 | 10 |
FS-3200X | 200 | 196 | 50 | 100 | ±100 | ±200 | 10 |
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