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可定制氣體軸承線性位移臺
大行程，高重復(fù)精度氣體軸承位移臺！
所屬類別：光機產(chǎn)品/精密定位控制系統(tǒng) » 電動平移臺
可定制氣體軸承線性位移臺
LT系列位移平臺采用經(jīng)過特殊設(shè)計的空氣軸承，該軸承分別對剛度、承載能力和剛度進行了優(yōu)化。與傳統(tǒng)的軸承相比，采用氣體為潤滑劑，因此所有運動都是無接觸的，因此在整個使用壽命之內(nèi)，設(shè)備的性能保持不變，并且無需進行特殊維護。此外位移平臺采用直線電機直接驅(qū)動，無須螺桿或齒輪進行傳動實現(xiàn)了非常平滑的無干擾的高精度的運動。通過使用天然大理石為平移臺移動的桌面，可以實現(xiàn)非常高的重復(fù)定位精度。從而使位移平臺擁有極低的俯仰、偏擺、滾動、偏航和線性誤差。
上海昊量光電設(shè)備有限公司推出的空氣軸承位移平臺可提供從200mm-1500mm不同行程的平臺,在可提供大行程的同時，精度可達到300nm，平移臺擁有優(yōu)異的分辨率，重復(fù)精度可達到100nm。
此外提供高精度的復(fù)雜運動和定位方案：
提供不同應(yīng)用中需要的定位平臺、控制器和相關(guān)軟件
Ø整體解決方案
Ø定制化解決方案
Ø復(fù)雜的多軸與并聯(lián)運動系統(tǒng)
Ø超精密空氣與機械軸承
Ø軟件集成：: LABVIEW, Tango, Epics……
產(chǎn)品特點：
l 優(yōu)異的重復(fù)精度
l 超大行程
l 采用空氣軸承，無需維護
l 可按客戶要求進行定制
主要應(yīng)用
l 高性能掃描
l 光學(xué)檢測系統(tǒng)
l 超精密研磨和切削
l 光伏系統(tǒng)
l 醫(yī)療系統(tǒng)
l 同步輻射或X射線
l 激光加工
l 半導(dǎo)體行業(yè)
l 晶體處理
產(chǎn)品參數(shù)：
Units | LS100 | LS200 | LS300 | LS400 | LS500 | LS1000 | LS1500 | |
travel | mm | 100 | 200 | 300 | 400 | 500 | 1000 | 1500 |
load capacity | kg | >65 | >65 | >65 | >65 | >65 | >65 | >65 |
accuracy | μm | ±0.3 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 | ±1.0 | ±1.0 |
repeatability | μm | ±0.1 | ±0.15 | ±0.15 | ±0.2 | ±0.2 | ±0.4 | ±0.4 |
flatness | μm | ±0.2 | ±0.4 | ±0.5 | ±1 | ±1.5 | ±3 | ±5 |
pitch | μrad | ±4 | ±8 | ±12 | ±13 | ±14 | ±29 | ±39 |
roll | μrad | ±4 | ±8 | ±12 | ±13 | ±14 | ±29 | ±39 |
yaw | μrad | ±4 | ±8 | ±12 | ±13 | ±14 | ±29 | ±39 |
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