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高精度微型振鏡/壓電掃描鏡
  • 高精度微型振鏡/壓電掃描鏡
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更新時(shí)間:2025-03-18 16:43:07

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高精度微型振鏡/壓電掃描鏡該系統(tǒng)是一個(gè)完整的光束控制系統(tǒng)。在緊湊的體積(直徑12mm)中包含壓電馬達(dá)、位置傳感器、軸承以及內(nèi)置控制器。在微型振鏡上安裝了一個(gè)鍍鋁膜的鏡子,每秒可旋轉(zhuǎn)1100°,精度可達(dá)到0.025°。

高精度微型振鏡/壓電掃描鏡

AU-M3-RS微型振鏡將微型壓電馬達(dá)、精密導(dǎo)向系統(tǒng)、位移傳感器、微處理器集成到緊湊的空間中,該模塊擁有超小的體積(直徑<12mm),在緊湊的空間中包含一個(gè)世界上zui小的壓電馬達(dá)和IC驅(qū)動,但卻可以提供更高的功率和可靠性,精度比電磁電機(jī)高十倍。內(nèi)置微處理器及PID控制器,無需外加控制器,只需要通過標(biāo)準(zhǔn)的I2C 或者SPI接口輸入簡單的串行命令就可以驅(qū)動旋轉(zhuǎn)臺。內(nèi)置位移傳感器,使微型振鏡的角分辨率達(dá)到0.025°。采用*的自鎖設(shè)計(jì),只有在移動時(shí)才使用動力,使其擁有極低的功耗。

 

壓電陶瓷電機(jī)微型振鏡、壓電陶瓷電機(jī)驅(qū)動微型振鏡、微機(jī)械微型振鏡,微型振鏡,MENS掃描鏡,微型掃描鏡

 

 

高精度微型振鏡/壓電掃描鏡

不需要外部控制器。該模塊將PID控制器集成到電路板上,只需要通過標(biāo)準(zhǔn)的I2C 或者SPI接口輸入簡單的串行命令就可以驅(qū)動該控制器??梢酝ㄟ^USB適配器連接電腦,直接通過軟件控制聚焦模塊的運(yùn)動。操作簡單使用方便。

 

 

AU-M3-RS擁有以下幾種開發(fā)套件:

①光束控制和鏡面定位系統(tǒng),該系統(tǒng)是一個(gè)完整的光束控制系統(tǒng)。在緊湊的體積(直徑12mm)中包含壓電馬達(dá)、位置傳感器、軸承以及內(nèi)置控制器。在微型振鏡上安裝了一個(gè)鍍鋁膜的鏡子,每秒可旋轉(zhuǎn)1100°,精度可達(dá)到0.025°。點(diǎn)對點(diǎn)光束控制和動態(tài)掃描頻率可達(dá)100Hz。鏡子的偏轉(zhuǎn)角度可達(dá)到±20°采用*的自鎖設(shè)計(jì),只有在移動時(shí)才使用動力,使其擁有極低的功耗。輸入電壓只需要3.3V。

高精度微型振鏡/壓電掃描鏡

單軸鏡面定位開發(fā)套件(AU-DK-M3-RS-U-1M-20

 

雙軸光束控制系統(tǒng)(AU-DK-M3-RS-U-2M-20-L

 

②旋轉(zhuǎn)定位平臺(AU-M3-RS-U-360)是集壓電馬達(dá)、位置傳感器、軸承以及內(nèi)置控制器于一體的運(yùn)動系統(tǒng)。但是其擁有超小的體積,只有12D´12.5H)。該系統(tǒng)可以提供連續(xù)的360°運(yùn)動,并且擁有位置反饋系統(tǒng),使其分辨率可達(dá)到0.025°。該微型振鏡只需要輸入3.3V的直流電壓,運(yùn)動時(shí)耗能僅為500mW,因此可以用電池或者USB作為電源,這非常利于手提和便攜式設(shè)備。

 

u  主要特點(diǎn)

  • 成本低
  • 超小尺寸
  • 低功耗
  • 無外加控制器
  • 高分辨率(0.0057°)

 

u  主要應(yīng)用

皮膚科激光、熒光顯微鏡和成像儀器、體內(nèi)和體外的微激光手術(shù)、3D打印、激光雷達(dá)、三維測量、遙感、防抖動設(shè)備、激光打標(biāo)、激光雕刻、自由空間光通信、目標(biāo)指示、目標(biāo)探測、目標(biāo)跟蹤等。

 

u  主要參數(shù)

         型號

參數(shù)

AU-M3-RS-U-360

AU-DK-M3-RS-U-1M-20

AU-DK-M3-RS-U-2M-20-L

Rotation Range

360 deg continuous rotation

+/- 20 deg

+/- 20 deg

Speed

> 1100 deg/sec

> 1100 deg/sec

> 1100 deg/sec

Acceleration

> 1,000,000 deg/sec2

> 1,000,000 deg/sec2

> 1,000,000 deg/sec2

Stall Torque (min)

0.04 N-mm

0.04 N-mm

0.04 N-mm

Holding Torque (min)

0.08 N-mm (zero power)

0.08 N-mm (zero power)

0.08 N-mm (zero power)

Recommended Maximum Payload mounted to rotating shaft (Payload must be balanced)

Mass

3 g

3 g

3 g

Inertia

350 g-mm2

350 g-mm2

350 g-mm2

CLOSED-LOOP performance (with built-in position sensor)

Recommended Step Frequency

Up to 100 Hz

Up to 100 Hz

Up to 100 Hz

Resolution (encoder resolution)

0.025 deg (440 µrad) absolute

0.025 deg (440 µrad) absolute

0.025 deg (440 µrad) absolute

Repeatability

+/-0.05 deg (880 µrad)

+/-0.05 deg (880 µrad)

+/-0.05 deg (880 µrad)

Accuracy

0.25 deg (4400 µrad)

0.25 deg (4400 µrad)

0.25 deg (4400 µrad)

Maximum Closed-Loop Step & Settle Times

0.96 g-mm 2 inertial load*

0.99 g-mm 2 inertial load*

0.99 g-mm 2 inertial load*

0.5 deg

9ms

9ms

9ms

5 deg

14ms

14ms

14ms

20 deg

21ms

21ms

21ms

OPEN-LOOP performance (external position sensor provided by user)

Resolution

< 0.0057 deg (< 100 µrad)

<0.0057 deg (<100 µrad)

<0.0057 deg (<100 µrad)

Accuracy

Typically better than 10% of distance travelled after calibration

 

 

 

 


 

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