【掃描鏡】無萬向節(jié)MEMS掃描鏡(Mirrorcle)。光學(xué)掃描鏡是一種矢量掃描設(shè)備,能使入射光束按照特定的方式與時間順序發(fā)生反射,從而在像面上實現(xiàn)掃描成像.傳統(tǒng)的光學(xué)掃描鏡體積大、成本高,且多為散裝,大大限制了其應(yīng)用。相較于傳統(tǒng)的掃描鏡,MEMS掃描鏡具有尺寸小、成本低、掃描頻率高、響應(yīng)速度快和功耗低等優(yōu)點,以被廣泛的應(yīng)用在光通信、掃描成像、激光雷達(dá)、內(nèi)窺鏡、3D掃描成像等領(lǐng)域。