目錄:束蘊儀器(上海)有限公司>>MDP>> Freiberg--MDPinline ingotMDP晶錠在線面掃檢測儀--進口少子壽命測試
產地類別 | 進口 | 價格區(qū)間 | 面議 |
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應用領域 | 電子,冶金,航天,汽車,電氣 |
?產品介紹
德國弗萊貝格儀器的MDPinline ingot(MDP晶錠在線面掃檢測儀--進口少子壽命測試)系統(tǒng)是快速多晶硅晶錠電學參數特性測量工具。它是專為高通量工廠的單塊晶錠測試而研發(fā)的。每塊晶錠可以在不到一分鐘時間里測量其四面。所有的圖譜(壽命,光電導率,電阻率)都可以同時進行測量。
MDPinline ingot(MDP晶錠在線面掃檢測儀--進口少子壽命測試)系統(tǒng)包括一個數據庫和相關的統(tǒng)計數據評估,可自動確定準確的切割位置,以提高成品率。主要用于材料質量監(jiān)控,爐選擇和工藝改進。
?性能
--無接觸、無破壞的半導體特性
--少數載流子壽命的檢測能力
--*的靈敏度讓所有隱形缺陷可視化
--自動切割標準定義
--獲取體材料性質的穩(wěn)態(tài)測量
--*自動化的內聯(lián)集成
--對太陽能級硅錠進行掃描,1mm分辨率
--測量時間:1分鐘內完成晶錠的面掃描,可自動測量所有4個面
Automated determination of cut off criteria
?優(yōu)勢
--保持著*光伏晶圓廠多晶硅晶錠在線特性快速檢測的世界記錄。
--在1分鐘內完成分辨率大于1mm成像掃描測試,同時可完成電導類型轉變的空間分布掃描和電阻率的
--線掃描測試??蛻舳x的切割標準可以傳輸到晶圓廠數據庫,該數據庫允許對下一代光伏晶圓廠進行*自動化的材料監(jiān)控。
--對爐料進行質量控制和爐況監(jiān)測,并進行失效分析。特殊的“underneath the surface”測量技術大大減少了表面重組造成的數據失真。
?技術參數