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貨物所在地：上海上海市
更新時間：2024-11-11 14:58:01
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MM3E 以 MM3A-EM微納米操縱儀為基礎(chǔ)，具有MM3A-EM 相同的緊湊性、精確性和穩(wěn)定性。同時，MM3E具有閉環(huán)位置反饋功能（closed-loop positional feedback），該功能提高微納米操縱儀的易用性。一鍵定位MM3E的探針到工作（Working）和停留（Parking）位置。
MM3E 與市場上幾乎所有的 SEM 或 FIB/SEM 兼容。它配備了一個直觀的拖放式（drag&drop-style）控制軟件，可方便地在 SEM 或 FIB/SEM 工具內(nèi)定位探針。
軟件可執(zhí)行坐標變換，使 MM3E 以笛卡爾坐標系工作，其重現(xiàn)性僅為幾微米。利用可選的帶編碼的旋轉(zhuǎn)軸，樣品可在工作位置進行同心旋轉(zhuǎn)（compucentrically）。
產(chǎn)品特點（Features）
配有模塊化組件和一系列插件工具的即插即用系統(tǒng)
適用于大多數(shù) SEM/FIB 的接口解決方案
輕松使用多個機械手
結(jié)構(gòu)緊湊，可實現(xiàn)更高的共振頻率
幾乎不受振動影響
快速手動預(yù)定位
寬大的工作范圍（100 cm3）
技術(shù)參數(shù)（Specifications）
X/Y 分辨率：0.5nm
Z分辨率：0.02nm
R軸分辨率：0.5e-6°
XYZ重復(fù)性： < 2 µm
R軸重復(fù)性： < 0.02°
漂移：< 1 nm/min
同心旋轉(zhuǎn)同心度 ~30 µm
應(yīng)用（Application）
原位提?。?/span>In-situ lift-out）
納米探測（NanoProbing）
微納操縱（NanoManipulation）
Compucentric rotation within a field of view of 30 µm
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