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貨物所在地:上海上海市
更新時(shí)間:2024-11-11 14:58:01
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MM3E 以 MM3A-EM微納米操縱儀為基礎(chǔ),具有MM3A-EM 相同的緊湊性、精確性和穩(wěn)定性。同時(shí),MM3E具有閉環(huán)位置反饋功能(closed-loop positional feedback),該功能提高微納米操縱儀的易用性。一鍵定位MM3E的探針到工作(Working)和停留(Parking)位置。
MM3E 與市場(chǎng)上幾乎所有的 SEM 或 FIB/SEM 兼容。它配備了一個(gè)直觀的拖放式(drag&drop-style)控制軟件,可方便地在 SEM 或 FIB/SEM 工具內(nèi)定位探針。
軟件可執(zhí)行坐標(biāo)變換,使 MM3E 以笛卡爾坐標(biāo)系工作,其重現(xiàn)性僅為幾微米。利用可選的帶編碼的旋轉(zhuǎn)軸,樣品可在工作位置進(jìn)行同心旋轉(zhuǎn)(compucentrically)。
產(chǎn)品特點(diǎn)(Features)
配有模塊化組件和一系列插件工具的即插即用系統(tǒng)
適用于大多數(shù) SEM/FIB 的接口解決方案
輕松使用多個(gè)機(jī)械手
結(jié)構(gòu)緊湊,可實(shí)現(xiàn)更高的共振頻率
幾乎不受振動(dòng)影響
快速手動(dòng)預(yù)定位
寬大的工作范圍(100 cm3)
技術(shù)參數(shù)(Specifications)
X/Y 分辨率:0.5nm
Z分辨率:0.02nm
R軸分辨率:0.5e-6°
XYZ重復(fù)性: < 2 µm
R軸重復(fù)性: < 0.02°
漂移:< 1 nm/min
同心旋轉(zhuǎn)同心度 ~30 µm
應(yīng)用(Application)
原位提?。?/span>In-situ lift-out)
納米探測(cè)(NanoProbing)
微納操縱(NanoManipulation)
Compucentric rotation within a field of view of 30 µm
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)