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MM3E-帶位置編碼的微納米操縱儀
  • MM3E-帶位置編碼的微納米操縱儀
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貨物所在地:上海上海市

更新時(shí)間:2024-11-11 14:58:01

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Micromanipulator with encoded axes,帶位置編碼器的微納米機(jī)械手。

MM3E MM3A-EM微納米操縱儀為基礎(chǔ),具有MM3A-EM 相同的緊湊性、精確性和穩(wěn)定性。同時(shí),MM3E具有閉環(huán)位置反饋功能closed-loop positional feedback),該功能提高微納米操縱儀的易用性。一鍵定位MM3E的探針到工作(Working)和停留(Parking)位置。

MM3E 與市場(chǎng)上幾乎所有的 SEM FIB/SEM 兼容。它配備了一個(gè)直觀的拖放式drag&drop-style控制軟件,可方便地在 SEM FIB/SEM 工具內(nèi)定位探針。

軟件可執(zhí)行坐標(biāo)變換,使 MM3E 笛卡爾坐標(biāo)系工作,其重現(xiàn)性僅為幾微米。利用可選的編碼的旋轉(zhuǎn)軸,樣品可在工作位置進(jìn)行同心旋轉(zhuǎn)compucentrically

帶位置編碼的微納米操縱儀

產(chǎn)品特點(diǎn)(Features

配有模塊化組件和一系列插件工具即插即用系統(tǒng)

適用于大多數(shù) SEM/FIB 的接口解決方案

輕松使用多個(gè)機(jī)械手

結(jié)構(gòu)緊湊,可實(shí)現(xiàn)更高的共振頻率

幾乎不受振動(dòng)影響

快速手動(dòng)預(yù)定位

的工作范圍100 cm3)

技術(shù)參數(shù)(Specifications

X/Y 分辨率:0.5nm

Z分辨率:0.02nm

R軸分辨率:0.5e-6°

XYZ重復(fù)性: < 2 µm

R軸重復(fù)性: < 0.02°

漂移:< 1 nm/min

同心旋轉(zhuǎn)同心度 ~30 µm


應(yīng)用(Application

原位提?。?/span>In-situ lift-out

納米探測(cè)(NanoProbing

微納操縱(NanoManipulation

帶位置編碼的微納米操縱儀

Compucentric rotation within a field of view of 30 µm










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