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安捷倫高抽氣擴散泵故障排查與解決方案

時間：2020/12/7閱讀：2739

安捷倫高抽氣擴散泵故障排查與解決方案

油擴散泵是利用低壓、高速和定向流動的油蒸氣射流抽氣的真空泵。這種泵的極限真空為10-4～10-5帕，工作壓力范圍為10-1～10-4帕，抽速范圍為幾十至十幾萬升/秒（1升=10-3米3）。油擴散泵是獲得高真空的主要設(shè)備，廣泛用于真空冶煉、真空鍍膜、空間模擬試驗和對油污染不敏感的一些真空系統(tǒng)中。今天給大家?guī)淼氖前步輦愑蛿U散泵的故障排查與解決方案。