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臺式掃描電鏡說明：
（1）大放大倍率6萬倍（Magnification Max 60,000x）
（2）采用二次電子和背散射電子雙重探測器（Signal Detection: SE Detector+BSE Detector）
（3）1KV~30KV加速電壓選擇，圖像分辨率高（Accelerating Voltage:1kV to 30Kv，High image resolution）
（4）通過選配EDS可進行元素成份分析（EDS is optional, for component analysis）
（5）冷卻臺的安裝可在無前處理情況下對水分取樣分析(Installation a cooling Stage, Can measure aqueous samples without pretreatment)
（6）高/低真空配置縮短前處理過程（High&Low Vacuum System）
（7）CCD攝像頭的安裝可對載物臺內部觀察（The CCD camera is mounted to view the inside of the stage）
（8）Tilt（0~45）載物臺配置（可選擇）（Tilt Stage configuration( optional)）
臺式掃描電鏡特性：
（1）臺式掃描電鏡,體型小巧,占用空間??；
（2）強大的軟件功能,單窗口操作界面讓用戶操作方便簡單；
（3）軟件實現(xiàn)檢測圖形實時存儲；
（4）掃描電鏡產品結構設計簡潔,易于維護及保養(yǎng)；
（5）自動平臺采用中心定位模式,迅速定位待測樣品；
（6）高低壓真空設計,可調式電壓,為不同樣品提供更合適的檢測環(huán)境；
臺式掃描電鏡特性：
分辨率 | 15nm (30kV, SE Image) |
20nm (30kV, BSE Image) | |
放大倍率 | 18x~60,000x |
加速電壓 | 1kV to 30kV (1kV/5kV/10 kV /15kV/20kV/30 kV -6 step) |
圖像檢測 | 二次電子圖像-(SE)-Secondary Electron Image |
背散射電子圖像(BSE)-Backscattered Electron Image | |
* Multi Detector (SE+BSE) | |
觀察模式 | Standard Mode |
Charge-up reduction mode | |
電子槍系統(tǒng) | |
燈絲類型 | 預對中鎢燈絲 |
偏壓系統(tǒng) | 自動偏壓方式 |
電子槍校正 | 手動方式 |
透鏡構成 | |
聚光鏡 | 2段式磁線圈透鏡 |
物鏡 | 1段式磁線圈透鏡 |
探測器類型 | SE Detector/ BSE Detector |
載物臺系統(tǒng) | 自動或者手動 |
載物臺移動 | 3軸（X，Y，R）或5軸（X，Y，R，Z，T） |
圖像偏移 | Image shift X, Y Image Shift (±150μm) |
樣品大尺寸 | 高度30mm時大直徑70mm |
圖像掃描 | 快速掃描: 320x240 (Scan time: 0.1 sec.) |
低速掃描 : 640x480 (Scan time: 3 sec.) | |
圖片模式1: 1280x960 (Scan time: 30sec.) | |
圖片模式2: 2560x1920 (Scan time: 60sec.) | |
圖片模式3: 5120x3840 (Scan time: 120sec.) | |
自動功能 | 自動啟動，自動聚焦，自動亮度對比度調節(jié) |
圖像存儲格式 | BMP, JPEG, PNG,TIFF |
數(shù)據(jù)顯示 | 放大倍率，探測器類型，電壓，真空模式，Logo(Text)，Date and time，Text marker，比例尺等 |
真空系統(tǒng) | 全自動型/高真空模式+低真空模式 （旋轉式機械泵）Rotary Pump/100Liters/min （渦輪式分子泵）Turbo Molecular Pump/ 70Liters/sec 抽真空時間：2分鐘以內 |
操控系統(tǒng) | 鼠標和鍵盤 |
PC：臺式電腦（Desk Top） OS : Microsoft Windows 7 CPU : In CoreTM i5 or High version Memory / HDD : 4GB / 500GB or High version USB 2.0 | |
軟件 | 圖像文件打開，編輯，存儲功能長度，面積，角度等測量功能,設置數(shù)初始化，圖像拍攝模式轉換，Archives, Setting(EDS)模式等 |
體積 | 設備主機-410(W)×660(D)×600(H)mm |
重量 | 105kg |
設備環(huán)境 | 溫度：15℃~30℃ 電源：Single phase 100~240V AC, 1KW, 50/60Hz |
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