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透射電鏡氣體高溫原位系統(tǒng)運(yùn)用了多場(chǎng)耦合技術(shù)，可在氣相環(huán)境中實(shí)現(xiàn)光、電、熱、流體多場(chǎng)耦合。透射電鏡氣體高溫原位系統(tǒng)具有高的安全性：

1．采用納流控技術(shù)，通過(guò)壓電微控系統(tǒng)進(jìn)行流體微分控制，實(shí)現(xiàn)納升級(jí)微量流體輸送，控制精度為5 nL/s，每次氣體推送過(guò)程中，原位納流控系統(tǒng)及樣品桿中冗余的氣體量?jī)H有微升級(jí)別，有效保證電鏡安全。

2．采用高分子膜面接觸密封技術(shù)，相比于o圈密封，增大了密封接觸面積，有效減小滲漏風(fēng)險(xiǎn)。

3．采用超高溫鍍膜技術(shù)，芯片視窗區(qū)域的氮化硅膜具有耐高溫低應(yīng)力耐壓耐腐蝕耐輻照等優(yōu)點(diǎn)。