目錄:廈門超新芯科技有限公司>>樣品臺(tái)>>Spring Series In Situ Stages>> 掃描電鏡液體熱電原位系統(tǒng)
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更新時(shí)間:2023-12-27 10:13:44瀏覽次數(shù):1858評(píng)價(jià)
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液體體積 | 納升至皮升級(jí) |
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高分辨率
MEMS微加工工藝,使電化學(xué)芯片視窗區(qū)域的氮化硅膜厚度最薄可達(dá)10nm,極大減少了對(duì)電子束的干擾,液相環(huán)境可達(dá)到納米級(jí)分辨率。
高安全性
1.市面常見的其他品牌液體樣品桿,由于受自身液體池芯片設(shè)計(jì)方案制約,只能通過液體泵產(chǎn)生的巨大壓力推動(dòng)大流量液體流經(jīng)樣品臺(tái)及芯片外圍區(qū)域,有液體大量泄露的安全隱患。其液體主要靠擴(kuò)散效應(yīng)進(jìn)入芯片中間的納米孔道,芯片觀察窗里并無真實(shí)流量流速控制。
2.采用納流控技術(shù),通過壓電微控系統(tǒng)進(jìn)行流體微分控制,實(shí)現(xiàn)納升級(jí)微量流體輸送,原位納流控系統(tǒng)及樣品桿中冗余的液體量?jī)H有微升級(jí)別,有效保證電鏡安全。
3.采用高分子膜面接觸密封技術(shù),相比于o圈密封,增大了密封接觸面積,有效減小滲漏風(fēng)險(xiǎn)。
4.采用超高溫鍍膜技術(shù),芯片視窗區(qū)域的氮化硅膜具有耐高溫低應(yīng)力耐壓耐腐蝕耐輻照等優(yōu)點(diǎn)。
優(yōu)異熱學(xué)性能
1.高精密紅外測(cè)溫校正,微米級(jí)高分辨熱場(chǎng)測(cè)量及校準(zhǔn),確保溫度的準(zhǔn)確性。
3.超高頻控溫方式,排除導(dǎo)線和接觸電阻的影響,測(cè)量溫度和電學(xué)參數(shù)更精確。
3.采用高穩(wěn)定性貴金屬加熱絲(非陶瓷材料),既是熱導(dǎo)材料又是熱敏材料,其電阻與溫度有良好的線性關(guān)系,加熱區(qū)覆蓋整個(gè)觀測(cè)區(qū)域,升溫降溫速度快,熱場(chǎng)穩(wěn)定且均勻,穩(wěn)定狀態(tài)下溫度波動(dòng)≤±0.1℃。
4.采用閉合回路高頻動(dòng)態(tài)控制和反饋環(huán)境溫度的控溫方式,高頻反饋控制消除誤差,控溫精度±0.01 ℃。
5.多級(jí)復(fù)合加熱MEMS芯片設(shè)計(jì),控制加熱過程熱擴(kuò)散,極大抑制升溫過程的熱漂移,確保實(shí)驗(yàn)的高效觀察。
智能化軟件和自動(dòng)化設(shè)備
1.人機(jī)分離,軟件遠(yuǎn)程控制實(shí)驗(yàn)條件,全程自動(dòng)記錄實(shí)驗(yàn)細(xì)節(jié)數(shù)據(jù),便于總結(jié)與回顧。
2.自定義程序升溫曲線??啥x10步以上升溫程序、恒溫時(shí)間等,同時(shí)可手動(dòng)控制目標(biāo)溫度及時(shí)間,在程序升溫過程中發(fā)現(xiàn)需要變溫及恒溫,可即時(shí)調(diào)整實(shí)驗(yàn)方案,提升實(shí)驗(yàn)效率。
3.內(nèi)置絕對(duì)溫標(biāo)校準(zhǔn)程序,每塊芯片每次控溫都能根據(jù)電阻值變化,重新進(jìn)行曲線擬合和校正,確保測(cè)量溫度精確性,保證加熱實(shí)驗(yàn)的重現(xiàn)性及可靠性。
4.全流程配備精密自動(dòng)化設(shè)備,協(xié)助人工操作,提高實(shí)驗(yàn)效率。
團(tuán)隊(duì)優(yōu)勢(shì)
1.團(tuán)隊(duì)帶頭人在原位液相發(fā)展初期即參與研發(fā)并完善該方法。
2.獨(dú)立設(shè)計(jì)原位芯片,掌握芯片核心工藝,擁有多項(xiàng)芯片patent。
3.團(tuán)隊(duì)20余人從事原位液相研究,可提供多個(gè)研究方向的原位實(shí)驗(yàn)技術(shù)支持。
類別 | 項(xiàng)目 | 參數(shù) |
基本參數(shù) | 臺(tái)體材質(zhì) | 高強(qiáng)度鈦合金 |
液層厚度 | 納米至微米(可定制) | |
氮化硅膜 | 10nm,20nm,50nm(可定制) | |
液體體積 | 納升至皮升級(jí) |
Electrochemical dissolution
Electrochemical deposition
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