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晶圓標準物質-玻璃中的微量元素旨在促進玻璃中微量元素化學分析方法的發(fā)展。添加到玻璃基質中的61種元素的標稱質量分數在10 mg/kg到80 mg/kg之間。晶圓標準物質-玻璃中的微量元素的一個單元由四個晶圓組成，從一根手拉桿上切下3毫米厚的晶圓。硅片的橫截面為橢圓形至圓形，標稱直徑為12 mm至14 mm。

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