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上海韜世實(shí)業(yè)發(fā)展有限公司
中級(jí)會(huì)員 | 第8年

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heidenhain海德漢光柵尺LIDA403精度0.01 µm

參  考  價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)LIDA 473/LIDA 483/LIDA403

品       牌HEIDENHAIN/德國海德漢

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地上海市

更新時(shí)間:2024-11-20 19:01:59瀏覽次數(shù):1213次

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heidenhain海德漢光柵尺LIDA403精度0.01 µm
LIDA 473,LIDA 483
帶限位開關(guān)的增量式直線光柵尺
? 測量步距1 µm至0.01 µm
? 玻璃或玻璃陶瓷測量基準(zhǔn)
? 玻璃光柵尺,背膠固定
? 由光柵尺和讀數(shù)頭組成

檢測與數(shù)據(jù)處理

電子細(xì)分與判向法

光柵測量位移的實(shí)質(zhì)是以光柵柵距為一把標(biāo)準(zhǔn)尺子對(duì)位稱量進(jìn)行測量。高分辨率的光柵尺一般造價(jià)較貴,且制造困難。為了提高系統(tǒng)分辨率,需要對(duì)莫爾條紋進(jìn)行細(xì)分,光柵尺傳感器系統(tǒng)多采用電子細(xì)分方法。當(dāng)兩塊光柵以微小傾角重疊時(shí),在與光柵刻線大致垂直的方向上就會(huì)產(chǎn)生莫爾條紋,隨著光柵的移動(dòng),莫爾條紋也隨之上下移動(dòng)。這樣就把對(duì)光柵柵距的測量轉(zhuǎn)換為對(duì)莫爾條紋個(gè)數(shù)的測量。

在一個(gè)莫爾條紋寬度內(nèi),按照一定間隔放置4個(gè)光電器件就能實(shí)現(xiàn)電子細(xì)分與判向功能。例如,柵線為50線對(duì)/mm的光柵尺,其光柵柵距為0.02mm,若采用四細(xì)分后便可得到分辨率為5μm的計(jì)數(shù)脈沖,這在工業(yè)普通測控中已達(dá)到了很高精度。由于位移是一個(gè)矢量,即要檢測其大小,又要檢測其方向,因此至少需要兩路相位不同的光電信號(hào)。為了消除共模干擾、直流分量和偶次諧波,通常采用由低漂移運(yùn)放構(gòu)成的差分放大器。由4個(gè)光敏器件獲得的4路光電信號(hào)分別送到2只差分放大器輸入端,從差分放大器輸出的兩路信號(hào)其相位差為π/2,為得到判向和計(jì)數(shù)脈沖,需對(duì)這兩路信號(hào)進(jìn)行整形,首先把它們整形為占空比為1:1的方波。然后,通過對(duì)方波的相位進(jìn)行判別比較,就可以等到光柵尺的移動(dòng)方向。通過對(duì)方波脈沖進(jìn)行計(jì)數(shù),可以得到光柵尺的位移和速度  。

特點(diǎn)

1、 xian進(jìn)可靠的光學(xué)測量系統(tǒng),采用可靠耐用的高精度五軸承系統(tǒng)設(shè)計(jì),保證光學(xué)機(jī)械系統(tǒng)的穩(wěn)定性,優(yōu)異的重復(fù)定位性和高等級(jí)測量精度。

2、 傳感器采用密封式結(jié)構(gòu),性能可靠,安裝方便。

3、 采用特殊的耐油、耐蝕、高彈性及抗老化塑膠防水,防塵優(yōu)異,使用壽命長。 4、 具體高水平的抗干擾能力,穩(wěn)定可靠。

5、 光源采用紅外發(fā)光二極管,體積小壽命長。

6、 采用*的光柵制作技術(shù),能制作各規(guī)格的高精度光柵玻璃尺(長可做到3000mm)。

 

heidenhain海德漢光柵尺LIDA403精度0.01 µm

 LIDA 473,LIDA 483

帶限位開關(guān)的增量式直線光柵尺

• 測量步距1 µm至0.01 µm

• 玻璃或玻璃陶瓷測量基準(zhǔn)

• 玻璃光柵尺,背膠固定

• 由光柵尺和讀數(shù)頭組成

高速運(yùn)動(dòng)和大測量長度

LIDA敞開式直線光柵尺特別適合運(yùn)動(dòng)速度達(dá)10 m/s的高速運(yùn)動(dòng)應(yīng)用,支持多種安裝方式,安裝特別簡單。根據(jù)相應(yīng)應(yīng)用要求,METALLUR光柵的基體可為鋼帶,玻璃或玻璃陶瓷。也有限位開關(guān)。

 

線性比例尺

LIDA 403

測量標(biāo)準(zhǔn)

線膨脹系數(shù)*

玻璃陶瓷或玻璃上的金屬薄膜光柵;光柵周期20微米

αtherm?8·10–6 K–1(玻璃)

αtherm=(0±0.5)·10–6 K–1(Robax玻璃陶瓷)

精度等級(jí)*

±1微米(僅適用于Robax玻璃陶瓷),±3微米,±5微米

基線誤差

≤±0.275微米/10毫米

測量長度ml*in mm

240 340 440 640 840 1040 1240 1440 1640 1840 2040 2240 2440

2640, 2840, 3040 (ROBAX glass ceramic with up to ML 1640)

參考標(biāo)記*

Lida 4x3:測量長度中點(diǎn)處一個(gè);Lida 4x3 C:距離編碼

質(zhì)量

3 g + 0.1 g/mm 測量長度

 

 

 

 

 

 

 

 

掃描頭

LIDA 48

LIDA 47

界面

  1 VPP

? TTL

積分插值*

信號(hào)周期

20 µm

5-fold

4 µm

10-fold

2 µm

50-fold

0.4 µm

100-fold

0.2 µm

截止頻率–3 dB

≥ 400 kHz

掃描頻率*

≤ 400 kHz

≤ 200 kHz

≤ 100 kHz

≤ 50 kHz

≤ 200 kHz

≤ 100 kHz

≤ 50 kHz

≤ 25 kHz

≤ 50 kHz

≤ 25 kHz

≤ 12.5 kHz

≤ 25 kHz

≤ 12.5 kHz

≤ 6.25 kHz

邊緣分離A1)

≥ 0.100 µs

≥ 0.220 µs

≥ 0.465 µs

≥ 0.950 µs

≥ 0.100 µs

≥ 0.220 µs

≥ 0.465 µs

≥ 0.950 µs

≥ 0.080 µs

≥ 0.175 µs

≥ 0.370 µs

≥ 0.080 µs

≥ 0.175 µs

≥ 0.370 µs

橫移速度1)

≤ 480 m/min

≤ 480 m/min

≤ 240 m/min

≤ 120 m/min

≤ 60 m/min

≤ 240 m/min

≤ 120 m/min

≤ 60 m/min

≤ 30 m/min

≤ 60 m/min

≤ 30 m/min

≤ 15 m/min

≤ 30 m/min

≤ 15 m/min

≤ 7.5 m/min

插值誤差

±45 nm

限位開關(guān)

帶有兩個(gè)不同磁鐵的L1/L2;輸出信號(hào):TTL(不帶線路驅(qū)動(dòng)器)

電氣連接

電纜,0.5 m、1 m或3 m,帶15針D-Sub連接器(公)

電纜長度

見接口說明,但限制:≤20 m(帶海德漢電纜)

電壓供應(yīng)

DC 5 V ±0.5 V

電流消耗

< 130 mA

< 150 mA (without load)

振動(dòng)55赫茲至2000赫茲

沖擊6毫秒

≤ 500 m/s2 (EN 60 068-2-6)

≤ 1000 m/s2 (EN 60 068-2-27)

工作溫度

–10 °C to 70 °C

質(zhì)量掃描頭

連接電纜

連接器

20 g (without cable)

22 g/m

32 g

*訂購時(shí)請(qǐng)選擇

1)在相應(yīng)的截止或掃描頻率下

Robax®是德國緬因州Schott Glaswerke的注冊(cè)商標(biāo)。

 

 如有需要詳情,請(qǐng)見heidenhain海德漢光柵尺LIDA403精度0.01 µm

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