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光電掃描
大多數(shù)海德漢公司的光柵尺或編碼器都用 光電掃描原理。光電掃描測量基準是非接 觸式掃描，因此無磨損。這種光電掃描方 法能檢測到非常細的線條，通常不超過幾 微米寬，而且能生成信號周期很小的輸出 信號。 測量基準的柵距越小，光電掃描的衍射現(xiàn) 象越嚴重。海德漢角度編碼器采用兩種掃 描方法： • 成像掃描原理用于20 µm至40 µm的柵距 • 干涉掃描原理用于更小柵距的光柵， 例如，8 µm。
成像掃描原理
簡單的說，成像掃描原理是采用透射光生 成信號：兩個具有相同或相近柵距的測量 基準和掃描掩模彼此相對運動。掃描掩膜 的基體是透明的，而作為測量基準的光柵 可以是透明的也可以是反射的。 當平行光穿過一個光柵時，在一定距離處 形成明/暗區(qū)。掃描光柵就位于該位置。當 兩個光柵相對運動時，穿過光柵的光得到 調制。如果狹縫對齊，則光線穿過。如果 一個光柵的刻線與另一個光柵的狹縫對 齊，光線無法通過。光電池組將這些光強 變化轉化成電信號。特殊結構的掃描掩膜 將光強調制為近正弦輸出信號。 柵距越小，掃描掩膜和光柵尺帶間的間距 越小，公差越嚴。成像掃描的10 µm或更大 柵距的編碼器允許的編碼器安裝公差相對 較大。 例如，采用成像掃描原理的ERA系列角度 編碼器。
ERP4080海德漢角度編碼器帶圓光柵碼盤
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