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高分辨率線性傳感器
GS-3813B / 3830B

分辨率0.1 Myuemu

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日本小野高分辨率線性傳感器GS-3813B
日本小野高分辨率線性傳感器GS-3813B

產(chǎn)品照片（GS-3813/3830高分辨率線性傳感器）

左：GS-3830B
右：GS-3813B

而GS-3813B / 3830B是亞微米線性量規(guī)傳感器，具有防塵和優(yōu)異的軸承和IP66G耐久性的防滴性能，這是由自動(dòng)機(jī)對(duì)應(yīng)于所述在線測(cè)量高分辨率線性量規(guī)傳感器。

滾珠花鍵軸承的采用和新光學(xué)系統(tǒng)的開(kāi)發(fā)使得實(shí)現(xiàn)高分辨率和環(huán)境性能成為可能。

檢測(cè)信號(hào)可以用方波輸出（線路驅(qū)動(dòng)器輸出）提取，因此可以直接連接到PLC。

GS-3813B / 3830B線性傳感器與DG-5100數(shù)字儀表計(jì)數(shù)器配合使用

產(chǎn)品照片（DG-5100數(shù)字儀表計(jì)數(shù)器）

DG-5100數(shù)字儀表計(jì)數(shù)器

DG-5100是一款輸入頻率為3 MHz的高速計(jì)數(shù)器。
通過(guò)采用選件卡，可以以低成本實(shí)現(xiàn)比較器功能，模擬輸出功能，RS-232C通信功能等必要功能。

詳情產(chǎn)品介紹

特點(diǎn)

■與傳統(tǒng)產(chǎn)品相比，可以進(jìn)行更的測(cè)量
（分辨率10倍1μm→0.1μm）

■軸承壽命比傳統(tǒng)產(chǎn)品長(zhǎng)3倍
（測(cè)量操作500萬(wàn)次→1500萬(wàn)次）

■與傳統(tǒng)產(chǎn)品相比，增強(qiáng)了
防塵，防水，防油性能（防護(hù)結(jié)構(gòu)IP64→IP66G）

■振動(dòng)和沖擊性能是傳統(tǒng)產(chǎn)品的兩倍
（抗振性98 m / s ²，耐沖擊性980 m / s ² →抗振性196 m / s ²，耐沖擊性1960 m / s ²）

應(yīng)用實(shí)例

高精度測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)中使用的玻璃部件，如激光

激光設(shè)備等的玻璃部件在拋光過(guò)程中用接觸式高精度線性規(guī)進(jìn)行尺寸檢查，以確保中間過(guò)程的精度，并在終過(guò)程中送到光學(xué)檢查過(guò)程。

應(yīng)用示例（激光等光學(xué)系統(tǒng)中使用的玻璃部件的高精度測(cè)量）

硅片厚度測(cè)量，精度為1μm

使用高精度線性傳感器，測(cè)量硅晶片的厚度，精度為1μm。ST-0230量規(guī)支架適用于小于4英寸的小型晶圓。

應(yīng)用實(shí)例（硅片厚度測(cè)量精度為0.5μm）

高精度厚度測(cè)量翹曲材料，如硅片

它地測(cè)量具有類(lèi)似硅晶片的翹曲的板狀材料的厚度。為了不受翹曲的影響，請(qǐng)使用一個(gè)特殊的支架，其結(jié)構(gòu)接收GS-3813B測(cè)量傳感器的測(cè)量元件與“凸透鏡”碰撞的部分，并用銷(xiāo)釘支撐其他四個(gè)點(diǎn)。
通過(guò)將GS-3813B測(cè)量傳感器的傳感器中心與凸透鏡的中心對(duì)齊，可以在幾乎不受翹曲影響的情況下測(cè)量厚度?？梢酝ㄟ^(guò)RS-232C接口將測(cè)量數(shù)據(jù)加載到PC中來(lái)執(zhí)行諸如統(tǒng)計(jì)處理之類(lèi)的二次數(shù)據(jù)處理。

應(yīng)用示例（硅片的翹曲材料的高精度厚度測(cè)量）

大綱規(guī)范

	GS-3813B	GS-3830B
測(cè)量范圍	13毫米	30毫米
自適應(yīng)儀表計(jì)數(shù)器	DG-5100
決議	0.1微米
指示精度（20°C時(shí)）	1微米
響應(yīng)速度※1	300毫米/秒（1.2米/秒）
測(cè)量力（向下）* 2	2.3 N或更少	2.7 N或更少
測(cè)量力變化范圍（選項(xiàng)）* 2	0.9至2.3 N.	1.6至2.2 N.
測(cè)量力變化范圍（選項(xiàng)）* 3	2.7至3.0 N.	（否）
滑動(dòng)次數(shù)（根據(jù)我們的條件）	1500萬(wàn)次
防護(hù)等級(jí)（不包括連接器部件）	IP66G
莖直徑	毫米Fai15 ^{Tasu0 -0.009}
電源	DC 4.5至5.5 V.
電流消耗（DC 5 V電源）	150 mA或更低
信號(hào)輸出（DC 5V電源）	90°相位差分方波RS422A兼容線路驅(qū)動(dòng)器輸出（26C31等效產(chǎn)品）
抗振性（未通電時(shí)）* 4	196 m / s ²　每個(gè)方向3軸（每個(gè)75分鐘）10 Hz至150 Hz掃描10個(gè)周期
抗沖擊性（未通電時(shí)）* 4	1960 m / s ²　3軸每個(gè)方向每個(gè)方向±X，Y，Z每個(gè)正弦半波動(dòng)作時(shí)間3 ms 3次
工作溫度范圍	0至40°C
儲(chǔ)存溫度范圍	-10至55°C
電纜長(zhǎng)度	大約5米
質(zhì)量（包括電纜和連接器）	約350克	約420克
附件	說(shuō)明書(shū)，扳手
價(jià)格
選項(xiàng)	·AA-969手指升降 ·ST-0230，ST-044B（僅適用于GS-3830）儀表支架 ·AA-4104（13 mm）/ 4105（30 mm）防塵橡膠更換 ·AA-844（30 mm））/ 845（50 mm）加長(zhǎng)主軸，各種測(cè)量元件，AA-3310安裝支架，AA-8901（5 m）/ AA-8902（10 m）/ AA-8903（20 m）/ AA-8904（30 m））延長(zhǎng)線

※1使用我們的儀表計(jì)數(shù)器時(shí)，括號(hào)中的數(shù)值是使用DG-5100時(shí)的電氣響應(yīng)速度。
※2橫向（10°C以下）或以上使用時(shí)，主軸可能無(wú)法*返回。
※3這是改造時(shí)能夠向上使用的變更范圍。（數(shù)值是向下方向的測(cè)量功率）
* 4測(cè)量期間的振動(dòng)和沖擊阻力不保證所述值。
* 5如果在中間斷開(kāi)或修改信號(hào)電纜，CE標(biāo)記不符合要求。