電感耦合等離子發(fā)射光譜儀ICP-OES，是指以電感耦合等離子體作為激發(fā)光源，根據(jù)處于激發(fā)態(tài)的待測元素原子回到基態(tài)時發(fā)射的特征譜線對待測元素進行分析的儀器。待測元素原子的能級結(jié)構(gòu)不同，因此發(fā)射譜線的特征不同，據(jù)此可對樣品進行定性分析；而待測元素原子的濃度不同，因此發(fā)射強度不同，可實現(xiàn)元素的定量測定。
ICP發(fā)射光譜分析過程主要分為三步：激發(fā)、分光和檢測。
（1）利用等離子體激發(fā)光源使試樣蒸發(fā)汽化，離解或分解為原子狀態(tài)，原子可能進一步電離成離子狀態(tài)，原子及離子在光源中激發(fā)發(fā)光。
（2）利用光譜儀器將光源發(fā)射的光分解為按波長排列的光譜。
（3）利用光電器件檢測光譜，按測定得到的光譜波長對試樣進行定性分析，按發(fā)射光強度進行定量分析。
電感耦合等離子發(fā)射光譜儀檢測分析的特點：
（1）應(yīng)用范圍寬：可以測定70多種元素。
（2）多元素同時檢測能力：可以同時測定一個樣品中的多種元素。每一個樣品一經(jīng)激發(fā)后，不同元素都發(fā)射特征光譜，這樣就可同時測定多種元素。
（3）選擇性好：每種元素因原子結(jié)構(gòu)不同，發(fā)射各自不同的特征光譜。在分析化學(xué)上，這種性質(zhì)上的差異，對于一些化學(xué)性質(zhì)極相似的元素具有特別重要的意義。例如鈮和鉭、鋯和鉿、幾十種稀土元素用其他方法分析都很困難，而發(fā)射光譜分析可以毫無困難地將它們區(qū)分開來并加以測定。
（4）檢出限低：一般光源可達10~0.1ug/g(或ug.cm3),絕對值可達1~0.01ug.電感耦合高頻等離子體（ICP）檢出限可達ng/g級。
（5）準確度較高：一般光源相對誤差約5%~10%，ICP相對誤差可達1%以下。
（6）試樣消耗少。
（7）ICP光源校準曲線線性范圍寬，可達4~6個數(shù)量級，可以測定元素各種不同含量（高、中、微含量）。
（8）常見的非金屬元素如氧、硫、氮、鹵素等譜線在遠紫外區(qū)，目前一般的光譜儀尚無法檢測；還有一些非金屬元素，如Te等，由于其激發(fā)電位高，靈敏度較低。
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