一般，超純水機可以將水的純化過程大致分為4大步，預處理（初級凈化）、反滲透（生產(chǎn)出純水），離子交換（可生產(chǎn)出18.2MΩ.cm超純水）和終端處理（生產(chǎn)出符合特殊要求的超純水）。
1、預處理
由于預處理后的水將通過反滲透進行再一步的凈化，所以一定要盡量去除對反滲透膜有影響的雜質(zhì)；主要包括大顆粒物質(zhì)、余氯以及鈣離子鎂離子。在此要說明的一點是必須要根據(jù)進水水質(zhì)的差異針對性地配備不同的處理單元。多數(shù)純水機生產(chǎn)廠家并不能很好幫助客戶解決這個問題，這會導致后續(xù)的純化無法達到理想結(jié)果并縮短反滲透膜、超純化柱等主要部件的壽命。
為很好的解決這一問題，設(shè)計精密過濾器、活性碳吸附過濾器以及軟化樹脂針對性地去除水中大顆粒物質(zhì)、余氯以及鈣離子鎂離子達到預處理效果。
預處理耗材（價格相對低很多）的及時更換對超純機的長期穩(wěn)定運行，保護核心部件相當重要。
2、反滲透
反滲透是使用一個高壓泵對高濃度溶液提供比滲透壓差大的壓力，水分子將被迫通過半透膜到低濃度的一邊，反滲透可以濾除90%-99%的包括無機離子在內(nèi)的絕大多數(shù)污染物，因為它出眾的純化效率，反滲透是水純化系統(tǒng)的一個非常有效的技術(shù)，因為反滲透能去除大部分的污物，所以它經(jīng)常被用作為前道處理手段，能顯著地延長去離子交換柱的使用時間。鑒于反滲透在水質(zhì)純化過程中是非常關(guān)鍵并且反滲透膜的更換價格較高，我們建議用戶一定要選擇對反滲透膜有保護功能的超純水機。
為了盡可能延長反滲透膜的使用壽命以及提高反滲透膜的過濾效率，采用了反滲透限流設(shè)計，在出水處有限流閥，使反滲透膜始終浸泡在水中，不致因變干而影響壽命。延長了反滲透膜壽命就是保證了出水水質(zhì)，同時也提升了超純水系統(tǒng)的性價比。
3、離子交換
離子交換即是水中的正離子與離子交換樹脂中的H+ 離子交換，水中的負離子與離子交換樹脂上的OH-離子交換，從而達到純化水的目的。通過離子交換去除離子，理論上幾乎能除去所有的離子物質(zhì)，在25℃時，出水電阻率達到18.2MΩ。cm。經(jīng)離子交換出水水質(zhì)的高低主要取決于離子交換樹脂的質(zhì)量和交換柱內(nèi)水與樹脂的交換效率。
4、終端處理
主要根據(jù)客戶的特殊要求生產(chǎn)出超低有機型、無菌型、無熱源型等的超純水。針對不同要求有多種處理方式，如超濾過濾法用于去除熱源，雙波長紫外氧化法用于降低水中總有機碳（TOC），微濾去除細菌等。超濾（UF）薄膜則是一個分子篩，它以尺寸為基準，讓溶液通過極細微的濾膜，以達到分離溶液中不同大小分子的目的，可將超純水中的熱源含量降至0.001EU/ml以下。雙波長紫外氧化法可利用光氧化有機化合物，將超純水中的總有機碳濃度降低至5ppb以下。
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