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| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 產(chǎn)品種類 | 超聲波 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 1萬-3萬 | 介質(zhì)分類 | 液體 |
| 應用領域 | 環(huán)保,食品,農(nóng)業(yè),石油,制藥 |
產(chǎn)品簡介
詳細介紹
日本東京計裝超聲波流量計液體用
UCUF-E系列液體用超聲波流量計是專為超純水和各種藥液等小流量測量而設計的流量計，由UCUF-E型檢測器和SFC型變換器構(gòu)成。
UCUF型檢測器的接液部全部由面向半導體產(chǎn)業(yè)的PFA構(gòu)成，沒有可動部，可防止積液
也沒有容易產(chǎn)生的o形圈等機械密封部。 因為是理想的潔凈結(jié)構(gòu)，是半導體裝置等要求高潔凈度的工藝的*流量計。
SFC型變換器大大減輕了半導體工藝、藥液工藝等中存在的問題，對流體中氣泡的影響。 為了適應各種藥液，配備了消除流體運動粘度影響的補償功能。 可通過RS485通信功能集中管理進程。
特長
EMC標準: en 61326-1:2013/en 61326-2-3:2013
支持RoHS
采用連接器結(jié)構(gòu)的拆裝式傳感器電纜
運動粘度40 mm2多可測量/s的高粘度流體
精度在指示值的±1%以內(nèi)(流速1 m/s以上時)
廣泛的范圍性能( 100:1代表值)
理想潔凈結(jié)構(gòu)的檢測器
耐腐蝕，安裝方便
主要用途
半導體制造工藝純水超純水的流量測定
各種藥液注入工藝的流量測定
高腐蝕性液體的流量測量
CMP漿料流量測量
其他小~中口徑工藝液體流量測量
清洗裝置、CMP裝置的流量測量控制
日本東京計裝超聲波流量計液體用
主要規(guī)格
檢測器規(guī)格
| 形式 | UCUF-04E/06E戰(zhàn)斗機 |
|---|---|
| 測量對象 | 全部液體(不含氣泡的液體、混合液應均勻溶解) |
| 流量范圍 | 04E : 0 ~ 50mL/min (小) 0 ~ 3000mL/min (大) 06E : 0 ~ 400mL/min (小) 0 ~ 8000mL/min (大) |
| 流體聲速 | 1000 ~ 2200m/s |
| 流體運動粘度 | 0.3 ~ 40mm2/s |
| 流體溫度 | +10 ~ 60℃ |
| 流體壓力 | 0 ~ 0.5MPa |
| 材質(zhì) | 本體(接液部)材質(zhì): new PFA (無PFOA ) 傳感器/電纜蓋材質(zhì): PP 蓋部密封件材質(zhì):氟橡膠 |
| 進程連接 | PFA氣管末端 |
對應變換器
| 形式 | SFC3000 |
|---|---|
| 輸入 | 傳感器信號:電纜( BNC連接器) |
| 脈沖輸出 | 可選擇頻率脈沖輸出、累計脈沖輸出或FAULT輸出 集電極開路負載額定值: DC30V、15mA以內(nèi) 頻率脈沖輸出 占空比:1 :1 脈沖速率:0 ~ 1000Hz (滿量程) 累計脈沖輸出 單位:×0.1 ml、×1 ml、×10 ml、×1l 脈沖寬度:0.5ms、50 m s、100ms FAULT輸出(轉(zhuǎn)換器、檢測器異常時輸出) no，可選擇NC |
| 電流輸出 | DC4~20mA負載電阻: 500Ω以內(nèi) |
| 低切斷 | 0 ~ 25% F.S |
| 通信 | 搭載RS485通信功能的協(xié)議:多可連接32臺MODBUS |
| 電源 | DC24V±10% |
| 結(jié)構(gòu) | IP20 (室內(nèi)規(guī)格) |
| 設置 | DIN導軌安裝 |
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