超高溫石墨化爐技術參數(shù)：電源容量60KVA、IGBT電源4000～8000Hz（自動跟蹤）、溫度3000℃、控溫精度±2℃、測溫方式1100℃～3000℃采用日本千野紅外儀、有效工作區(qū)尺寸Φ200×200 mm（直徑×高）、冷態(tài)極限真空度133Pa、壓升3.0 Pa/h、保護氣氛氬氣 氮氣、充氣壓力≤ 0.03MPa、進出料方式上部裝出料、升溫條件氣氛燒結（惰性氣體）

超高溫石墨化爐結構組成：爐體、爐蓋、加熱感應器、保溫層及電極引出裝置、水循環(huán)分配系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、溫控系統(tǒng)等。電器系統(tǒng)由電源采用60KVA、IGBT晶體管中頻電源和水冷電纜，中頻電源裝置設有中頻功率、電壓、中頻頻率、直流電壓、電流等指示儀表，操作顯示器件（中頻電源具備零點動功能）?？刂苹芈肪邆溥^壓、過流、斷水等聲光報警功能。控制部分以15寸觸摸屏和可編程控制器PLC為核心。