PicoFemto閉循環(huán)液氦變溫探針臺(tái),物理實(shí)驗(yàn)室探針臺(tái),可定制探針臺(tái)系統(tǒng)，整套系統(tǒng)包括探針臺(tái)主體、4K液氨制冷機(jī)、視頻顯微鏡、針座、探針線纜、直流探針、溫控儀、真空機(jī)組等配置。

PicoFemto閉循環(huán)液氦變溫探針臺(tái)配置如下：

探針臺(tái)主體

- 樣品臺(tái)尺寸：50mm

- 6個(gè)探針臂：4個(gè)直流，2個(gè)30G射頻

- 直流超低漏電底柵接口，標(biāo)準(zhǔn)Triax輸出

- 變溫范圍：9K~350K

- 極限真空度優(yōu)于1E-3Pa

- 氣浮減震支腿

- 降溫時(shí)間：2小時(shí)

4K液氦制冷機(jī)

- 住友液氦閉循環(huán)制冷機(jī)，含循環(huán)冷水機(jī)組

- 一級冷頭:35 W @ 50 K

- 二級冷頭:1.5 W@ 4.2 K

- 降溫時(shí)間：1個(gè)小時(shí)

視頻顯微鏡

- Thorlabs 6.5X變焦鏡頭，LED環(huán)形照明

- 物鏡0.7~4.5倍連續(xù)變倍，

- 工作距51mm，分辨率3.1um

- 配高清HDMI攝像頭，總放大倍率約700倍

針座

- XYZ移動(dòng)范圍：25mm

- 移動(dòng)分辨率優(yōu)于5um

- 可選射頻探針

探針線纜

- 超低漏電探針設(shè)計(jì)，漏電流低于100fA

- Triax標(biāo)準(zhǔn)接口輸出

- Keithley原裝低噪聲Triax線纜

直流探針

- 超低漏電探針設(shè)計(jì)，針尖直徑標(biāo)配10um，可選小1um

溫控儀

- 雙通道溫度控制儀

- 測溫分辨率1mK，

- 大加熱功率50W

- 溫度穩(wěn)定性：優(yōu)于±0.01K

- 帶LabVIEW 驅(qū)動(dòng)

真空機(jī)組

- Edwards T-Station 85 分子泵機(jī)組，含全量程真空規(guī)

- 30分鐘系統(tǒng)真空達(dá)到可用狀態(tài)

- PicoFemto閉循環(huán)液氦變溫探針臺(tái)