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T01 EC 探頭站系統(tǒng)（HO-PSM-T01-EC）
閱讀：80 發(fā)布時間：2024-11-11規(guī)格
手動微型機械手：2 個
軸：4 （XYZ 和傾斜）
X 行程：25 毫米
Y 向行程：25 毫米
Z 行程：10 毫米
傾斜：+/- 3 度
帶BNC 輸出的測頭支架
45 度非金屬探頭支架
90 度非金屬探頭支架
磁性底座
附文
材料： 黑色噴漆 MS
輸出端口：BNC 連接器（4 個）
N2 進氣口和出氣口：各 1 個
相機 USB 接口：1 個
電源插座和開關： 帶鉸鏈和鎖的門
顯微鏡照明控制旋鈕。
濕度傳感器
此蓋并非密封。會有輕微泄漏。
在零度以下時，客戶需要在外殼中注入 N2 以減少基片支架上的結冰。
選配
1. LWD Plan Apo 10 倍顯微鏡物鏡
NA: 0 .30
工作距離：31 毫米
目鏡視場角：2 毫米
相機視場角：0 .57 毫米 x 0.428 毫米
2. LWD Plan Apo 20X 顯微鏡物鏡
NA: 0 .35
工作距離：29 毫米
目鏡視場角：1 毫米
照相機視場角：0 .285 毫米 x 0.214 毫米
3. LWD Plan Apo 50X 顯微鏡物鏡
NA: 0 .50
工作距離：17 毫米
目鏡視場角：0 .4 毫米
照相機視場角：0 .114 毫米 x 0.0856 毫米
4. 探頭： 5 個
探頭直徑：50 毫米
材料：鎢
5. 熱卡盤： 1 個
卡盤直徑：100 毫米
溫度范圍：RT - 200o C
溫度精度：+/- 10o C
熱傳感器
溫度控制軟件
磁性 SS 顯微機械手壓板、支撐架、底板、顯微鏡手動 XYZ 平臺：1 套
壓板：磁性 SS
壓板支撐架：高度 可調
底板：黑色 陽極氧化鋁
顯微鏡 XYZ 平臺
XYZ 行程：100 毫米 x 100 毫米 x 100 毫米
導軌：精密 滾珠滑軌
驅動：精密 導螺桿
導螺桿：1 mm 間距
導螺桿類型 ： 地面
定位精度：10 微米
結構：黑色 陽極氧化鋁
帶真空吸盤和冷卻吸盤的 XYZ 手動樣品架：1 套
頂板直徑：100 毫米
X 軸：25 mm 行程
Y 軸：10 mm 行程
Z 軸：10 毫米行程
XYZ 分辨率：10 微米
冷卻卡盤和外殼
溫度范圍：RT 至 -20°C
溫度精度：+/- 1°C
軟件控制
探針臺 三目顯微鏡及其支架：1 套
光學系統(tǒng) 無限校正
觀察方法 明視野
反射照明（同軸和成角度）
照明系統(tǒng) 高亮度白光 LED
旋轉鼻托，四重，帶正向精確點擊止動裝置
觀察頭 Siedentopf 三目觀察頭，30 度，48 - 75 mm IP 調節(jié)
目鏡 10 倍寬視場目鏡，F(xiàn)N = 20 毫米，度數(shù)可調
手動調焦
顯微鏡物鏡
長工作距離平面變色
放大倍率 5 X
數(shù)值孔徑 0.14
工作距離 40 毫米
目鏡視場角 4 毫米
FOV 相機 1.14 mm x 0.856 mm
相機規(guī)格
光學格式 1/2.5" CMOS
有源成像器尺寸 5.70 毫米 x 4.28 毫米，對角線 7.13 毫米
有效像素 2592 x 1944（500 萬像素）
像素尺寸 2.2 x 2.2 um
彩色濾光片陣列 RGB 拜爾模式
快門類型 電子滾動快門 (ERS)
幀頻 全分辨率 - 高達 7 幀/秒，VGA - 高達 26.7 幀/秒
ADC 分辨率 12 位，片載
像素動態(tài)范圍 70.1 dB
工作溫度 -30oC 至 +70oC
靈敏度 1.76V / lux - sec (550nm)
全分辨率 7 fps 時功耗 381 mW
接口 USB 2.0
圖像采集軟件