等離子清洗機(jī)，顧名思義，是通過等離子體來實(shí)現(xiàn)清洗的設(shè)備。那什么是等離子體呢。等離子體是一種高能帶電的氣體，可以通過加熱氣體或者施加高壓電場(chǎng)等方式產(chǎn)生。因?yàn)榈入x子具有高能量和高活性，可以有效擊穿器件表面的氧化物和有機(jī)物，使其腐蝕分解成氣體或者被吸附走。以此來達(dá)到精密清洗的目的。等離子清洗機(jī)又分為真空等離子清洗機(jī)和大氣等離子清洗機(jī)。
大氣等離子清洗機(jī)適用于體積較大的金屬、塑料、陶瓷等。清洗速度較快，但其清洗效果和清洗范圍受到氣流噴射壓力和角度的限制。占地較大設(shè)備較為昂貴。
真空等離子清洗機(jī)在輝光范圍內(nèi)可以清洗到細(xì)小夾縫內(nèi)部的污染物，清洗效果好，不會(huì)留下清洗痕跡適用于體積小的更精密的器件清洗，比如PCB制程、元器件封裝前、半導(dǎo)體、鍍膜工藝、實(shí)驗(yàn)室測(cè)試等。設(shè)備占地面積小，價(jià)格低。
真空等離子清洗機(jī)的選擇需要注意腔體的大小、同真空氣體環(huán)境下的匹配程度，頻率是否穩(wěn)定等，真空倉(cāng)門是否有觀察窗可直觀物體的處理過程。
真空等離子清洗機(jī)的配置也決定了在使用過程中的清洗效果。皮拉尼真空計(jì)可以提供更高的真空度環(huán)境，質(zhì)量流量計(jì)和進(jìn)口的氣體傳感器可以更精確的控制進(jìn)氣流量。石英腔體可以提供更高的潔凈度等。
總體來說，?選擇使用哪種等離子清洗機(jī)取決于具體的清洗需求和應(yīng)用場(chǎng)景。?大氣等離子清洗機(jī)適合對(duì)速度和成本有較高要求的簡(jiǎn)單表面處理，?而真空等離子清洗機(jī)則更適合對(duì)清洗效果有較高的要求的清洗。
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