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高壓放電腔用于氣體放電等離子體生成、材料表面改性、氣體處理環(huán)境保護、能源催化、微電子測試等實驗。
真空探針臺100fA電流噪聲測試
真空蒸鍍 電信號測試設備
科探氣敏、電信號測試腔
等離子石英放電腔
探針臺電流噪聲波動測試
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