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善準(zhǔn)科技等離子清洗機VP-R3詳細技術(shù)參數(shù)

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善準(zhǔn)等離子清洗機詳細技術(shù)參數(shù)

 

名稱:等離子清洗機

品牌:廣州善準(zhǔn)科技有限公司

型號:VP-R3

 

技術(shù)規(guī)格:

1、腔體材質(zhì):石英玻璃

2、腔體容量:Φ150×200Lmm

3、*射頻電源功率:160W

4、*射頻頻率:13.56MHz

5、頻率偏移量:小于0.2KHz

6、等離子體轟擊:從四周向中間

7、等離子體激發(fā):觸摸屏一鍵自動啟動

8、*腔體內(nèi)溫度:滿功率運行30分鐘腔體溫度<32℃

9、清洗時間:0- 1800 s 可調(diào),精確到1秒

10、功率調(diào)節(jié):高中低三檔可調(diào)

11、顯示屏:4.3英寸觸摸屏

12、*操作控制:觸摸屏控制,并提供中英文兩種操作界面

13、氣體流量計:高精密2路浮子流量計

14、提供進氣通路:兩路進氣,氣體流量 0-300ml/min可調(diào)(常用氣體:氬氣,氧氣,氮氣,氫氣,其他混合氣體)

15、進氣管:兩根6x4PU管,尾端配6轉(zhuǎn)6快擰接頭

16、泄壓:清洗完成自動泄壓,泄壓時長和速度可調(diào)??商峁┑獨饣蚱渌麣怏w泄壓通道(選配)

17、真空泵真空度:0.5Pa

18、抽速:4m3/h

19、噪音:52dB

20、抽真空時間:啟動到發(fā)出輝光≤50秒

21、*真空檢測:數(shù)字顯示,實時觀察腔體真空度狀態(tài)

22、*泄漏檢測:觸摸屏上有一鍵泄漏檢測功能

23、冷卻方式:強制風(fēng)冷

24、腔體門:帶可視窗高強度鋁合金,并在觸摸屏上自動識別開/關(guān)

25、*真空泵控制:主機與真空泵聯(lián)動,可在主機觸摸屏控制真空泵開啟/關(guān)閉

26、供電電源:AC220V/50Hz

27、箱體平衡:減震橡膠腳杯

28、機箱尺寸LxWxH:560x450x360mm

29、*溫度控制:在等離子激發(fā)頻率為13.56MHz的情況下,在滿功率運行30分鐘后清洗腔內(nèi)溫度不高于32℃,清洗過程不損傷樣品本身的性能

30、*質(zhì)保期:主機2年,真空泵1年

31、配置:主機VP-R3、雙級旋片真空泵、2米波紋管、清洗托盤、說明書、合格證、保修卡、外接氣管2根

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