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善準真空等離子清洗機VP-R5詳細技術參數(shù)

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廣州善準科技有限公司真空等離子清洗VP-R系列對標國際一線廠商,補充國內(nèi)技術短板(低溫真空石英腔體等離子清洗裝置),VP-R系列頻率13.56MHz,能對材料起到清潔、刻蝕、活化、改性的作用,滿功率運行30分鐘,腔體溫度不高于32℃,不損傷樣品,適用于微流控芯片PDMS鍵合、ITO導電玻璃、石墨烯、纖維、單晶硅片、PET、二氧化硅等幾乎所有材料的PLASMA處理。

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