技術(shù)參數(shù)

1.裝置極限真空度小于10Pa

2.裝置年泄漏率小于1%

3.充氣系統(tǒng)壓力小于0.8Mpa

4.系列型號：

型號真空泵速率

4型4升/秒（14.4m3/h）

8型8升/秒（28.8m3/h）

15型15升/秒（54m3/h）

30型30升/秒（108m3/h）

70型70升/秒（252m3/h）可選用羅茨泵機組

150型150升/秒（540m3/h）可選用羅茨泵機組

主要配置

真空泵：R5--0040旋片式真空泵（德國）

真空表：高精度熱偶真空計

閥門：不銹鋼精密球閥

連接管：高壓管2根

工作原理

 羅茨泵是一種無內(nèi)壓縮的真空泵，通常壓縮比很低，故高、中真空泵需要前級泵。羅茨泵的極限真空除取決于泵本身結(jié)構(gòu)和制造精度外，還取決于前級泵的極限真空。為了提高泵的極限真空度，可將羅茨泵串聯(lián)使用。羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風(fēng)機相似。由于轉(zhuǎn)子的不斷旋轉(zhuǎn)，被抽氣體從進氣口吸入到轉(zhuǎn)子與泵殼之間的空間v0內(nèi)，經(jīng)排氣口排出。由于吸氣后v0空間是全封閉狀態(tài)，所以，在泵腔內(nèi)氣體沒有壓縮和膨脹。但當(dāng)轉(zhuǎn)子頂部轉(zhuǎn)過排氣口邊緣，v0空間與排氣側(cè)相通時，由于排氣側(cè)氣體壓強較高，則有一部分氣體返沖到空間v0中去，使氣體壓強突然增高。當(dāng)轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)動時，氣體排出泵外。羅茨泵在泵腔內(nèi)，有二個“8”字形的轉(zhuǎn)子相互垂直地安裝在一對平行軸上，由傳動比為1的一對齒輪帶動作彼此反向的同步旋轉(zhuǎn)運動。在轉(zhuǎn)子之間，轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)壁之間，保持有一定的間隙，可以實現(xiàn)高轉(zhuǎn)速運行。

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