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　　半導(dǎo)體測(cè)試儀器是一款能夠提供IV、CV、脈沖/動(dòng)態(tài)IV等豐富功能的綜合分析儀，提供豐富的測(cè)量功能，支持器件、材料、半導(dǎo)體、有源/無源器件甚至幾乎所有其他類型電子器件的電氣表征和測(cè)試，并且具有測(cè)量可靠性和較高的測(cè)量效率。此外，模塊化體系結(jié)構(gòu)和10個(gè)空閑插槽允許您添加或升級(jí)測(cè)量模塊，以適應(yīng)不斷變化的測(cè)量需求。軟件支持交互式手動(dòng)操作或結(jié)合半自動(dòng)晶圓探頭的自動(dòng)操作，能夠在從測(cè)量設(shè)置和執(zhí)行到結(jié)果分析和數(shù)據(jù)管理的整個(gè)表征過程中實(shí)現(xiàn)高效和可重復(fù)的器件表征。配備數(shù)百種易于使用的測(cè)量(應(yīng)用測(cè)試)功能，允許您快速而輕松執(zhí)行復(fù)雜器件表征，并可以選擇在每次測(cè)量結(jié)束后將測(cè)試條件和測(cè)量數(shù)據(jù)自動(dòng)保存到內(nèi)置數(shù)據(jù)庫(kù)(工作區(qū))中，以確保不會(huì)遺失重要的信息和在日后能夠重復(fù)執(zhí)行該測(cè)量。憑借這些測(cè)量功能，提供了一款綜合的器件表征解決方案。
 

　　半導(dǎo)體測(cè)試儀器的結(jié)構(gòu)分析：
 

　　①光路接口盒：
 

　　內(nèi)置常用激光器及激光片組，拓展激光器包含自由光及單模光纖輸入；
 

　?、诠饴忿D(zhuǎn)向控制：
 

　　光路轉(zhuǎn)向控制可向下或向左，與原子力、低溫、探針臺(tái)等設(shè)備連用，可升級(jí)振鏡選項(xiàng)；
 

　?、勖饕晥?chǎng)相機(jī)：
 

　　明視場(chǎng)相機(jī)代替目鏡；
 

　?、茱@微鏡：
 

　　正置科研級(jí)金相顯微鏡，標(biāo)配落射式明暗場(chǎng)照明，其它照明方式可升級(jí)；
 

　?、蓦妱?dòng)位移臺(tái)：
 

　　75mm*50mm行程高精度電動(dòng)載物臺(tái)，1μm定位精度；
 

　　⑥光纖共聚焦耦合：
 

　　光纖共聚焦耦合為可選項(xiàng)，提高空間分辨率；
 

　　⑦CCD-狹縫共聚焦耦合：
 

　　標(biāo)配CCD-狹縫耦合方式，可使用光譜儀成像模式，高光通量；
 

　?、喙庾VCCD：
 

　　背照式深耗盡型光譜CCD相機(jī)，200-1100nm工作波段，峰值QE>90%；
 

　?、?20mm光譜儀：
 

　　F/4.2高光通量影像校正光譜儀，1*10-5雜散光抑制比。