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在傅里葉變換紅外光譜儀器中，干涉儀是儀器的心臟，它的好壞直接影響到儀器的心梗，因此有必要了解傳統(tǒng)的麥克爾遜干涉儀以及改進(jìn)后的干涉儀的工作原理。
 

⑴傳統(tǒng)的麥克爾遜（Michelson）干涉儀：傳統(tǒng)的麥克爾遜干涉儀系統(tǒng)包括兩個互成90度角的平面鏡、光學(xué)分束器、光源和檢測器。平面鏡中一個固定不動的為定鏡，一個沿圖示方向平行移動的為動鏡。動鏡在運(yùn)動過程中應(yīng)時刻與定鏡保持90度角。為了減小摩擦，防止振動，通常把動鏡固定在空氣軸承上移動。光學(xué)分束器具有半透明性質(zhì)，放于動鏡和定鏡之間并和它們成45度角，使入射的單色光50%透過，50%反射，使得從光源射出的一束光在分束器被分成兩束：反射光A和透射光B。A光束垂直射到定鏡上；在那兒被反射，沿原光路返回分束器；其中一半透過分束器射向檢測器，而另一半則被反射回光源。B光束以相同的方式穿過分束器射到動鏡上；在那兒同樣被反射，沿原光路返回分束器；再被分束器反射，與A光束一樣射向檢測器，而以另一半則透過分束器返回原光路。A、B兩束光在此會合，形成為具有干涉光特性的相干光；當(dāng)動鏡移動到不同位置時，即能得到不同光程差的干涉光強(qiáng)。

 

⑵改進(jìn)的干涉儀：干涉儀是傅里葉光譜儀最重要的部件，它的性能好壞決定了傅里葉光譜儀的質(zhì)量，在經(jīng)典的麥克爾遜干涉儀的基礎(chǔ)上，近年來在提高光通量、增加穩(wěn)定性和抗震性、簡化儀器結(jié)構(gòu)等方面有不少改進(jìn)。

 

傳統(tǒng)的麥克爾遜干涉儀工作過程中，當(dāng)動鏡移動時，難免會存在一定程度上的擺動，使得兩個平面鏡互不垂直，導(dǎo)致入射光不能直射入動鏡或反射光線偏離原入射光的方向，從而得不到與入射光平行的反射光，影響干涉光的質(zhì)量。外界的振動也會產(chǎn)生相同的影響。因此經(jīng)典的干涉儀除需經(jīng)十分精確的調(diào)整外，還要在使用過程中避免振動，以保持動鏡精確的垂直定鏡，獲得良好的光譜圖。為提高儀器的抗振能力，Bruker公司開發(fā)出三維立體平面角鏡干涉儀，采用兩個三維立體平面角鏡作為動鏡，通過安裝在一個雙擺動裝置質(zhì)量中心處的無摩擦軸承，將兩個立體平面角鏡連接。

 

三維立體平面角鏡干涉儀的實質(zhì)是用立體平面角鏡代替了傳統(tǒng)干涉儀兩干臂上的平面反光鏡。由立體角鏡的光學(xué)原理可知，當(dāng)其反射面之間有微小的垂直度誤差及立體角鏡沿軸方向發(fā)生較小的擺動時，反射光的方向不會發(fā)生改變，仍能夠嚴(yán)格地按與入射光線平行的方向射出。由此可以看出，采用三維立體角鏡后，可以有效地消除動鏡在運(yùn)動過程中因擺動、外部振動或傾斜等因素引起的附加光程差，從而提高了一起的抗振能力和重復(fù)性。