美國(guó)Angstrom Sciences圓柱形磁控管 離子槍

美國(guó)Angstrom Sciences圓柱形磁控管 離子槍

Angstrom Sciences 為幾乎所有標(biāo)準(zhǔn)濺射工藝提供先進(jìn)的磁控管。但我們知道，每個(gè)應(yīng)用程序都是不同的。這就是為什么我們開(kāi)發(fā)了一種特別的模塊化方法，專(zhuān)門(mén)適應(yīng)您的規(guī)格。

圓柱形磁控管長(zhǎng)期以來(lái)一直受到玻璃鍍膜行業(yè)的信賴(lài)，可以在最大限度地提高目標(biāo)利用率的同時(shí)創(chuàng)造均勻的薄膜?，F(xiàn)在，Angstrom Sciences 創(chuàng)造了一種緊湊、輕便且經(jīng)濟(jì)的圓柱形磁控管，專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)用于為平板顯示器、太陽(yáng)能電池和網(wǎng)絡(luò)涂層應(yīng)用提供這些相同的優(yōu)勢(shì)

定制設(shè)計(jì)

可使用直徑為 3″ (75mm) 或 5″ (125mm) 的背管，長(zhǎng)度可達(dá) 4 米，并且具有最小的源到源間距，可提供插入式和側(cè)面安裝的完整組件 多個(gè)串聯(lián)陣列可用于緊湊型高通量生產(chǎn)系統(tǒng)。

經(jīng)濟(jì)且全兼容的投資

ONYX-Revolution™ 采用通用且具有成本效益的磁鐵設(shè)計(jì)和定制的周轉(zhuǎn)，以適應(yīng)任何目標(biāo)類(lèi)型。而且，它采用現(xiàn)成的組件設(shè)計(jì)，以實(shí)現(xiàn)低成本、長(zhǎng)期投資和可靠性。

技術(shù)

Angstrom Sciences 的異形磁體技術(shù)在源和基板之間創(chuàng)建了更接近正常的沉積輪廓。改進(jìn)的沉積輪廓減少了腔壁上的碎屑堆積。

此外，Angstrom Sciences 的磁體陣列提供更高的磁場(chǎng)強(qiáng)度，允許用戶(hù)以更低的功率運(yùn)行濺射工藝以實(shí)現(xiàn)典型的沉積速率。

轉(zhuǎn)換儲(chǔ)蓄

本質(zhì)上，圓柱形磁控管可以容納的目標(biāo)材料量是具有相同空間面積的平面磁控管的三倍。Angstrom Sciences 的 ONYX-Revolution™ 進(jìn)一步優(yōu)化了材料投資，目標(biāo)利用率高達(dá) 85%。此外，在較低功率水平下運(yùn)行可節(jié)省 20% 的典型功率。

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