美國(guó)LumaSense光纖熒光溫度傳感器詳細(xì)說明：

 光纖熒光溫度傳感器，范圍：-100…330ºC
Luxtron 四通道 m924 和兩通道 m922 半導(dǎo)體模塊，設(shè)計(jì)用于蝕刻機(jī)和晶圓廠設(shè)備對(duì)靜電卡盤，真空腔室和其他設(shè)備的溫度進(jìn)行監(jiān)控。

詳細(xì)說明

基于現(xiàn)場(chǎng)可靠性驗(yàn)證和豐富的技術(shù)應(yīng)用支撐的新型高性能光纖熒光溫度傳感解決方案

LumaSense 擁有超過40年的將光纖溫度解決方案集成到具有挑戰(zhàn)性的應(yīng)用中的經(jīng)驗(yàn). 已經(jīng)安裝了數(shù)千個(gè)具有可靠性能的 Luxtron OEM 模塊.

靈活的探頭混搭設(shè)計(jì)

m920 系列模塊和 LumaSense 探頭相互之間可以任意匹配。 任何 m920 系列模塊都可以與任何通道上的任何探頭一起使用，而無需校準(zhǔn). m920 系列內(nèi)置了與LumaSense 探頭匹配的校準(zhǔn)表，可進(jìn)行高精度測(cè)量.

輕松集成到OEM設(shè)備

m920 系列包含兩塊線路板。主板包含光纖熒光測(cè)溫度通道，數(shù)字輸出 (RS-232 ASCII, RS-485 Modbus), 和電源連接. 模擬輸出線路板安裝在主板上方，提供 0 … 10V 或 4 … 20mA 輸出. 用戶可根據(jù)實(shí)際情況選配保護(hù)外殼.

The m920 系列主板解調(diào)來自 Fluoroptic® 探頭的測(cè)量信號(hào)并將校準(zhǔn)后的溫度報(bào)告給 OEM 控制系統(tǒng). 非金屬探頭通過堅(jiān)固的光纖與主板連接，可在惡劣環(huán)境下應(yīng)用.

向下兼容 LUXTRON m822 和 m600 系列模塊, Luxtron 熒光探頭

m920 OEM 系統(tǒng)適用于當(dāng)前所有的 Luxtron® 品牌的熒光探頭和光纖延長(zhǎng)線. Luxtron® 品牌擁有超過25年的經(jīng)驗(yàn)并在quan球范圍內(nèi)安裝了上萬套系統(tǒng)，是光纖溫度測(cè)量的最zhi得信賴的來源. 此外，m920 系列用戶界面命令與 m822 和 m600 系列 OEM 模塊基本相同.

典型應(yīng)用

• • 2 通道或 4 通道可選

  • 模塊，探頭、通道可靈活組合

  • 可靠的設(shè)計(jì)- 全qiu已安裝上萬套 Luxtron 系統(tǒng)

  • 可為 OEM 應(yīng)用訂制探頭

  • 探頭適用于所有電磁干擾環(huán)境：等離子體、射頻、微波、磁性、高壓

  • 可選配金屬外殼

  • 等離子刻蝕機(jī)卡盤溫度監(jiān)控

  • Shower Head溫度監(jiān)控

  • 真空腔體溫度監(jiān)控

  • 其他晶圓設(shè)備溫度監(jiān)控

  • 使用RF和等離子的半導(dǎo)體和FPD處理

美國(guó)LumaSense光纖熒光溫度傳感器技術(shù)數(shù)據(jù)：