ES Systems開發(fā)了ESRF-HF，這是一個(gè)插入式氣體流量變送器系列，基于熱膜風(fēng)速計(jì)原理進(jìn)行質(zhì)量氣體流量測(cè)量。

ESRF-HF是一系列質(zhì)量流量變送器，可在寬動(dòng)態(tài)范圍內(nèi)快速準(zhǔn)確地測(cè)量氣體流量。每個(gè)變送器都集成了一個(gè)MEMS流量傳感器和讀出電子元件，外殼由不銹鋼制成，外形非常小。流量變送器的工作壓力為 11bar。所有測(cè)量數(shù)據(jù)均經(jīng)過(guò)校準(zhǔn)，并在板上進(jìn)行溫度補(bǔ)償，從而降低溫度系數(shù)并提高測(cè)量精度。

標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng)提供模擬信號(hào)輸出，具有出色的可重復(fù)性和遲滯以及良好的分辨率。校準(zhǔn)氣體是空氣，但也可以根據(jù)要求提供其他非腐蝕性氣體。