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半導(dǎo)體晶片退火爐 管式加熱爐把實驗的氣體通入爐管中，管子的兩端由閥門密封，氣體在加熱中可以分解、化合等多種化學(xué)反應(yīng)。充氣時由閥門控制流量計、質(zhì)量流量計、壓力表等監(jiān)控。
爐膛材料全部采用高純氧化鋁纖維板/進(jìn)口摩根纖維制作而成，節(jié)能效果是老式電爐80%以上。（微電腦控制）可編程，全自動升溫，控溫精度±1℃ 爐管內(nèi)部可以抽成真空，實現(xiàn)高溫真空燒結(jié)。也*可以充以不同的氣體，加以氣氛保護(hù)。充氣時由閥門控制流量計、質(zhì)量流量計、壓力表等
半導(dǎo)體晶片退火爐 管式加熱爐技術(shù)參數(shù)
溫度 項目 | 1000度、1200度、1400度、1600度、1700度、1800度、 |
電壓V | 380 |
型號 | SRD-1700GSL |
設(shè)計溫度 | 1000度、1200度 、1400度、1600度、1700度、1800度 |
可長期使用溫度 | 950度、1150度、1350度、1550度、1650度、1750度 |
控溫精度 | ±1度（集成化電路控制，無*調(diào)現(xiàn)象） |
控制范圍為 | 50至1800度 |
測溫元件 | 熱電偶分度號：K,測溫范圍0-13850度；S,測溫范圍0-1450度；B,測溫范圍0-1850度 |
發(fā)熱元件裝位置 | 平行/垂直安裝于爐膛兩側(cè) |
爐溫均勻性 | ±1度（根據(jù)爐膛尺寸大小而定,大型爐膛可采用多點控溫） |
爐管材質(zhì) | 石英管/不銹鋼管/剛玉管 |
控制 | 微電腦程序控制功能，可以輸入設(shè)定：可同時輸入多條曲線，使用時可任意調(diào)用 |
發(fā)熱元件 | 硅碳棒/硅鉬棒 |
升溫速率 | 升溫速率可自由調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)范圍：升溫速率每分鐘40度（40度/min）、慢升溫速率每小時1度（1度/h） |
耐火材料 | 高純氧化鋁纖維/進(jìn)口摩根纖維 |
冷卻結(jié)構(gòu) | 雙層爐殼，風(fēng)冷；爐體溫度≤45度 |
計算機(jī)接口(選配） | RS485/RS232/USB |
保修范圍及期限 | 電爐*保修壹年，發(fā)熱元件、爐管、熱電偶不保修（發(fā)熱元件三個月內(nèi)自然損壞*更換） |
隨機(jī)備件 | 發(fā)熱元件兩支、棒具兩套，說明書一份，合格證一份，高溫手套一副，密封圈兩個。 |
