佳業(yè)-半導(dǎo)體行業(yè)氨分解設(shè)備

佳業(yè)-半導(dǎo)體行業(yè)氨分解設(shè)備的原理

在一定條件下將氨進(jìn)行分解可以獲得75％H2、25％N2的氫氮混合氣體：

用此法制得的氣體是一種良好的還原性保護(hù)氣體，可以廣泛地應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)、冶金工業(yè)、機(jī)械工業(yè)以及其它需要保護(hù)氣氛的生產(chǎn)和科研部門(mén)中。

鐵粉還原用氨分爐解制氫設(shè)備利用液氨來(lái)制取保護(hù)氣體，在工業(yè)上較容易實(shí)現(xiàn)，這是因?yàn)椋?/span>

1. 氨容易分解：氨在催化劑的作用下，常壓加熱至300℃以上即能分解，并且隨著溫度的升高，分解速度加快，分解也就越*。

2. 氣體精制容易：作為原料的液氨純度是很高的，其中揮發(fā)性雜質(zhì)只有少量的惰性氣體和水份，特別是含氧量極少。因此，氨分解后的混合氣體只需通過(guò)簡(jiǎn)單的凈化就可獲得純度很高的保護(hù)氣體。

二、鐵粉還原用氨分解爐制氫設(shè)備

氨氣源來(lái)自液氨鋼瓶或液氨貯罐，鑒于分解后產(chǎn)氣純度的要求和防止催化劑中毒的要求，要使用優(yōu)等品或優(yōu)等品以上的氨。

當(dāng)氨氣量較大或環(huán)境溫度較低時(shí)，液氨需經(jīng)氣化器氣化。氨氣經(jīng)鋼瓶減壓閥減壓后，壓力降至0.05MPa（表壓）左右，然后經(jīng)套管式換熱器予熱后進(jìn)入分解爐。分解爐是由爐膽、電熱元件和保溫材料組成，AQ50A氨分解爐有二組爐膽，內(nèi)裝氨分解觸媒，爐膛二周是電熱絲，通電后使?fàn)t溫均勻上升。分解爐溫度控制在800～850℃之間，氨氣在高溫下分解，分解后的高溫混合氣體通過(guò)套管換熱器與低溫的氨氣進(jìn)行熱交換，再經(jīng)過(guò)列管式水冷卻器后溫度降至接近常溫，便可供用戶使用。如用戶對(duì)混合氣的純度和露點(diǎn)要求較高，則可在氨分解裝置后配純化裝置。