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設(shè)備的優(yōu)點(diǎn)：

1、采用射頻電源、自動匹配器，一鍵式操控。

2、低溫等離子體，能量低、密度高，適合處理特殊材料。

3、無環(huán)境污染、無化學(xué)品消耗。

4、可處理形狀復(fù)雜和微細(xì)結(jié)構(gòu)的材料。

設(shè)備的參數(shù)：

腔體材質(zhì) ：鋁合金

供電電源 ： AC220V、1000W

濺射電壓：MAX 2500V

濺射電流：MAX 30mA

靶材尺寸：直徑57mm，厚度0.1~0.5mm

射頻電源功率： 0-300W可調(diào)

射頻頻率： 13.56MHz

真空度：≤100Pa

氣體路數(shù)：2路

氣體流量：MFC氣體質(zhì)量流量計   500SCCM（可調(diào)）

控制： 觸屏

清洗時間：1-6000s連續(xù)可調(diào)

處理尺寸：≤8寸

內(nèi)腔尺寸：226mm（長）*126mm（高）*224mm（深）

外形尺寸： 620mm*560mm*410mm（寬*深*高）

重量：≈38KG

真空泵：飛越ARV-4