臺(tái)式光刻機(jī)參數(shù)：
1.最大曝光面積:160mm*160mm
⒉.曝光分辨率:1u m(膠厚≤0.5um的正膠)
3.對(duì)準(zhǔn)精度:± 1um(標(biāo)準(zhǔn)晶圓拋光片)
4.光源強(qiáng)度:35mW/cm2
5.曝光波長(zhǎng):LED光源(進(jìn)口燈珠，壽命>1萬小時(shí))
6.曝光方式:定時(shí)(倒計(jì)時(shí)方式)
7.掩模樣片相對(duì)運(yùn)動(dòng)范圍:X:優(yōu)于±5mm;
8.Y:優(yōu)于±5mm;0:優(yōu)于±6°
9.掩模尺寸:7英寸，樣片規(guī)格:6英寸(晶圓片)
10.數(shù)字設(shè)定對(duì)準(zhǔn)間隙和曝光間隙
11.掩模樣片分離間隙:6 =O-500um連續(xù)可調(diào)
12.對(duì)準(zhǔn)方式:自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)，可根據(jù)客戶需求，增加對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的類型，累計(jì)不超過4組
13.自動(dòng)輸片:機(jī)械手自動(dòng)輸片(專用樣片機(jī)械手臂及片叉)，含預(yù)對(duì)準(zhǔn)定位功能
14.顯微掃描范圍:Y:± 40mm(數(shù)字設(shè)定)
15.具備正壓氣浮曝光、硬接觸曝光、壓力接觸曝光，以及接近式曝光四種功能CCD+遠(yuǎn)心鏡頭+顯示器對(duì)準(zhǔn)，光學(xué)合像
16.調(diào)平接觸壓力通過傳感器保證重復(fù)
17.雙物鏡可調(diào)距離范圍:30mm-130mm
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