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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
NX20 高精度全自動(dòng)大面積原子力顯微鏡--用于缺陷分析和大型樣品研究的納米計(jì)量工具
作為一款缺陷形貌分析的精密測(cè)量?jī)x器，其主要目的是對(duì)樣品進(jìn)行缺陷檢測(cè)。而儀器所提供的數(shù)據(jù)不能允許任何錯(cuò)誤的存在。Park NX20，這款精密的大型樣品原子力顯微鏡，憑借著出色的數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性，在半導(dǎo)體和超平樣品行業(yè)中大受贊揚(yáng)。
NX20 高精度全自動(dòng)大面積原子力顯微鏡概述：
強(qiáng)大全面的分析功能
Park NX20具備功能，可快速幫助客戶找到產(chǎn)品失效的原因，并幫助客戶制定出更多具有創(chuàng)意的解決方案。精密度為您帶來(lái)高分辨率數(shù)據(jù)，讓您能夠更加專注于工作。與此同時(shí)，真正非接觸掃描模式讓探針尖duan更鋒利、更耐用，無(wú)需為頻繁更換探針而耗費(fèi)大量的時(shí)間和金錢。。
即便是d一次接觸原子顯微鏡的工程師也易于操作
ParkNX20擁有業(yè)界為便捷的設(shè)計(jì)和自動(dòng)界面，讓你在使用時(shí)無(wú)需花費(fèi)大量的時(shí)間和精力，也不用為此而時(shí)時(shí)不停的指導(dǎo)初學(xué)者。借助這一系列特點(diǎn)，您可以更加專注于解決更為重大的問(wèn)題，并為客戶提供及時(shí)且富有洞察力的失效分析報(bào)告。
技術(shù)特點(diǎn)
為FA和研究實(shí)驗(yàn)室提供形貌測(cè)量解決方案
樣品側(cè)壁三維結(jié)構(gòu)測(cè)量
NX20的創(chuàng)新架構(gòu)讓您可以檢測(cè)樣品的側(cè)壁和表面，并測(cè)量它們的角度。眾多的功能和用途正是您的創(chuàng)新性研究和敏銳洞察力所*的。
對(duì)樣品和基片進(jìn)行表面光潔度測(cè)量
表面光潔度測(cè)量是Park NX20的關(guān)鍵應(yīng)用之一，能夠帶來(lái)失效分析和質(zhì)量保證。
高分辨率電子掃描模式
QuickStep SCM
快的掃描式電容顯微鏡
PinPoint AFM
無(wú)摩擦導(dǎo)電原子力顯微鏡
多種*的技術(shù)幫助顧客減少測(cè)試時(shí)間
CrN樣品所做的針尖磨損實(shí)驗(yàn)
AFM測(cè)量
低噪聲Z探測(cè)器測(cè)量準(zhǔn)確的樣品表面形貌
沒(méi)有壓電蠕變誤差的真正樣品表面形貌
超低噪聲Z探測(cè)器，噪音水平低于0.02 nm,從而達(dá)到樣品形貌成像，沒(méi)有邊沿過(guò)沖無(wú)需校準(zhǔn)。Park NX20在為您提供好的數(shù)據(jù)的同時(shí)也為您節(jié)省了寶貴的時(shí)間。
Park NX系列原子力顯微鏡
傳統(tǒng)的原子力顯微鏡
Park NX20特點(diǎn)
低噪聲XYZ位置傳感器
低噪聲Z軸探測(cè)器代替Z電壓作為形貌信號(hào)。低噪聲XY閉環(huán)掃描可將正向掃描和反向掃描間隙降至掃描范圍的0.15%以下。
自動(dòng)多點(diǎn)掃描
借助驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái)，步進(jìn)掃描可編程步進(jìn)掃描,多區(qū)域成像，以下是它的工作流程：該自動(dòng)化功能可大大減少掃描過(guò)程中人工移動(dòng)樣品所需時(shí)間，從而縮短測(cè)試時(shí)間，提高生產(chǎn)率。
滑動(dòng)嵌入SLD鏡頭的自主固定方式
您只需滑動(dòng)嵌入燕尾導(dǎo)軌便可輕松更換原子力顯微鏡鏡頭。該設(shè)計(jì)可將鏡頭自動(dòng)鎖定至預(yù)對(duì)準(zhǔn)的位置，同時(shí)與復(fù)位精度為幾微米的電路系統(tǒng)相連接。借助于相關(guān)性低的SLD，顯微鏡可成像并可準(zhǔn)確測(cè)定力-距離曲線。
高級(jí)掃描探針顯微鏡模式和選項(xiàng)的擴(kuò)展槽
只需將可選模塊插入擴(kuò)展槽便可激活高級(jí)掃描探針顯微鏡模式。得益于NX系列原子力顯微鏡的模塊設(shè)計(jì)，其生產(chǎn)線設(shè)備兼容性得到大大提高
高速24位數(shù)字控制器
所有NX系列的原子力顯微鏡都是由相同的NX電子控制器進(jìn)行控制和處理。 該控制器是個(gè)全數(shù)字，24位高速控制器，可確保True Non-Contact™模式下的成像精度和速度。憑借著低噪聲設(shè)計(jì)和高速處理單元，該控制器也是納米成像和電壓電流測(cè)量的選擇。嵌入式數(shù)字信號(hào)處理為原子力顯微鏡帶來(lái)更為豐富的功能，更好的解決方案，是高級(jí)研究員的選擇。
XY和Z軸檢測(cè)器的24位信號(hào)分辨率
嵌入式數(shù)字信號(hào)處理功能
集成式信號(hào)端口