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DS-2000/14G型光刻機(jī)

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貨物所在地：安徽合肥市

更新時(shí)間：2024-12-11 21:00:28

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DS-2000/14G型光刻機(jī)該機(jī)可采用紫外光、深紫外光、甚至更短波長(zhǎng)的極紫外光作為光源，用DMD數(shù)字微鏡陣列替代傳統(tǒng)掩模板，采用積木錯(cuò)位蠅眼透鏡實(shí)現(xiàn)高均勻照明

產(chǎn)品名稱：DS-2000/14G型光刻機(jī)

主要技術(shù)指標(biāo)：

單次曝光面積：1.4mm×1mm

大曝光基片：100mm ×100mm

對(duì)準(zhǔn)精度：±0.8μm（半自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)）

大膠厚：300μm（SU8膠）

自動(dòng)逐場(chǎng)對(duì)焦；

分辨力：1μm；

X、Y、Z、θ四自由度電動(dòng)位移臺(tái)

X、Y平移重復(fù)定位精度：0.65μm（3σ）

Z向運(yùn)動(dòng)精度：1μm

DS-2000/14G型光刻機(jī)技術(shù)特點(diǎn)：

該機(jī)可采用紫外光、深紫外光、甚至更短波長(zhǎng)的極紫外光作為光源，用DMD數(shù)字微鏡陣列替代傳統(tǒng)掩模板，采用積木錯(cuò)位蠅眼透鏡實(shí)現(xiàn)高均勻照明，并配備了雙目雙視顯微鏡和CCD圖象對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)（可同時(shí)使用），拼接獲得大面積圖形，曝光設(shè)定采用微機(jī)控制，菜單界面友好，操作簡(jiǎn)便。

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