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晶圓顯微鏡性能特點：

1、可選購 2000 萬彩色數(shù)字成像系統(tǒng)，采用進口 SONY 一英寸全面幅芯片，分辨率 5440*3648，USB3.0 高速數(shù)據(jù)傳輸通信，細膩逼真的圖像畫質，良好的顏色還原性能，安裝方便

2、成像測量軟件：帶拍照、錄像、幾何測量、圖像拼接、景深拓展等功能，軟件界面簡潔，容易上手

3、配置明暗場專用金相物鏡，成像效果更通透

4、粗微動同軸調焦機構，粗動松緊可調，帶限位鎖緊裝置，微動格值:2μm

5、 可選購進口歐司朗照明光源， 顏色還原真實，使用壽命長

6、280mm×270mm 大平臺，移動范圍 204*204mm，適合放置大尺寸樣品

晶圓顯微鏡參數(shù)：

1、鏡筒：鉸鏈式雙目頭部，主機含三目鏡筒（T），30 度傾斜的鉸鏈式鏡筒，瞳距調節(jié)范圍為 55-75mm。即使長時間觀察，也能確保使用者操作舒適，無疲勞感

2. 、攝影時 100%分光，適合低照度成像

3.、大視野高眼點目鏡：WF10X（視場數(shù) 22mm，視度可調

4.、無限遠明暗場平場消色差金相物鏡：

5X/0.12 工 作 距 離 ：(Work distance)：9.70mm

10X/0.25 工作距離(Work distance)：9.30 mm

20X/0.40 工作距離(Work distance)：7.20mm

50X/0.70 工作距離(Work distance)：2.50mm

100X/0.85 工作距離(Work distance)：0.80mm

5、轉換器：五孔明暗場專用轉換器

6、光學放大倍數(shù)：50-1000 倍

7、工作臺：三層機械移動平臺，硬膜涂層表面，防腐、耐磨；載物臺外形尺寸 280mm×270mm，移動范圍 204mmX204mm

8、調焦：粗微動同軸，升降范圍 22mm，微動格值 0.0008mm，帶松緊和限位裝置

9、反射照明：采用進口歐司朗大功率 50W 鹵素燈照明，亮度可調，帶偏振片，翻蓋式燈箱，更換燈泡方便安全；為操作者提供充足亮度，以滿足各種情況下的樣本觀察。帶可變光欄裝置、調中裝置，保     證視場照明均勻?？膳淦庥^察裝置

10、濾色片：轉盤式濾色片座，方便快速切換不同顏色，調節(jié)方便

11、正交偏光裝置 ：內置式可切換偏光觀察裝置，起偏器可 360°旋轉；偏光功能，對材料表面的雜散光可以起到過濾作用，避免雜散光對樣品細節(jié)的干擾，或者可以對晶體等有偏光特性的樣品進行觀察

12、可選購 2000 萬彩色數(shù)字成像系統(tǒng)，采用進口 SONY 一英寸全面幅芯片，分辨率 5440*3648，USB3.0 高速數(shù)據(jù)傳輸通信，帶拍照、錄像、幾何測量、圖像拼接、景深拓展等功能，軟件界面簡潔