垂直腔面發(fā)射激光器是指在襯底的垂直方向上構(gòu)成諧振腔，沿垂直方向上出射激光的一種新型半導體激光器。該設(shè)備與傳統(tǒng)的邊發(fā)射激光器不同的是其激光出射方向垂直于襯底表面，可獲得圓形光斑。由于諧振腔長與波長接近，動態(tài)單模性比較好，可在光通信、光存儲、激光顯示和照明等領(lǐng)域得到廣泛應用。其綜合了高光束質(zhì)量的垂直腔面發(fā)射激光器和高功率激光二極管抽運的固體激光器的優(yōu)勢，可同時獲得高功率和高光束質(zhì)量的激光輸出。
1567nm VCSEL垂直腔面發(fā)射激光器 1.0mW的結(jié)構(gòu)由鏡面，有源層和金屬接觸層組成。兩個發(fā)射鏡分別為P型，N型布拉格發(fā)射器。有源區(qū)有量子肼組成，在P型DBR外表面制作金屬接觸層，形成歐姆接觸，并在P型DBR上制作一個圓形出口，輸出激光。它具有較小的遠場發(fā)散角，發(fā)散角光束窄且圓；并且閾值電流低，調(diào)制頻率高，能達到300KHz。通過改變激光電流跟溫度可以實現(xiàn)波長調(diào)諧。內(nèi)置TEC和PD的包裝，它專為高速光纖通信而設(shè)計。
用途：
1、具有高密度、高傳輸率、高并行光輸出及方便地進行二維空間組合的特點，成為理想的集成光電子有源器件和空間光學及光計算機并行處理的關(guān)鍵器件。
2、該設(shè)備的高速響應特別適于計算機中的芯片光互連和自由空間光互連。
3、容易實現(xiàn)高密度的平面陣列集成，可用于圖像處理與模式識別，還可用于光神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)計算技術(shù)和多值邏輯等新型電路。
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