長(zhǎng)期以來(lái)，亞埃級(jí)電子顯微分辨率一直局限于像差校正電子顯微鏡，它是理解物質(zhì)的原子結(jié)構(gòu)和性質(zhì)的有力工具。
近日，美國(guó)伊利諾伊大學(xué)香檳分校(University of Illinois Urbana–Champai)Kayla X. Nguyen，Chia-Hao Lee，Pinshane Y. Huang等，阿貢國(guó)家實(shí)驗(yàn)室(Argonne National Laboratory)Yi Jiang等，在Science上發(fā)文，報(bào)道了未校正掃描透射電子顯微鏡scanning transmission electron microscope (STEM) 中的電子相干衍射成像，其深亞埃空間分辨率低至0.44埃，超過(guò)了像差校正工具的常規(guī)分辨率，并與它們的最高圖像分辨率相媲美。
Achieving sub-0.5-angstrom-resolution ptychography in an uncorrected electron microscope在未校正的電子顯微鏡中，獲得低于0.5埃分辨率的圖像。
圖1. 未校正和畸變校正的STEMs中扭曲雙層WSe2的ADF-STEM
圖2. 未校正顯微鏡下扭曲雙層WSe2
圖3. 亞埃分辨率的電子相干衍射模擬
圖4. 利用像差技術(shù)優(yōu)化電子相干衍射探針
在廣泛使用的商業(yè)顯微鏡中，演示了二維轉(zhuǎn)角材料，遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過(guò)了先前未校正的STEM分辨率(1到5埃)。還進(jìn)一步展示了幾何像差如何為劑量有效的電子成像創(chuàng)造優(yōu)化的結(jié)構(gòu)光束。研究表明，對(duì)于深亞埃分辨率，不再需要昂貴的像差校正器。
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通用參數(shù)
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應(yīng)用：
切割、修整、校正、 給半導(dǎo)體電路做標(biāo)記
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還可用作光學(xué)觀察剖面圖以便探針?lè)治霭雽?dǎo)體故障。
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