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burkert寶德熱式氣體質量流量控制器20001217特點介紹
8741型熱式氣體質量流量控制器*150nl/min,空氣,標定壓力2bar,鋁基座,G1/4寸,4-20mA
控制器|空氣| 15000nl /min | 24 V DC |內(nèi)螺紋- G1/4" | 4-20 mA
流量控制器是一種用于調節(jié)和穩(wěn)定流體流量的設備,廣泛應用于化工、石油、能源、環(huán)保、科研等領域。其核心特點如下:
核心特點
高精度與穩(wěn)定性
精度等級高:熱式質量流量控制器精度可達±0.8% F.S.,重復性±0.1% F.S.,確保流量控制的穩(wěn)定性。
抗干擾能力強:不受溫度、壓力波動影響,直接測量質量流量,適用于復雜工況。
快速響應與動態(tài)調節(jié)
響應時間快:熱式控制器響應時間<300 ms,適應動態(tài)調節(jié)場景(如半導體工藝中的實時控制)。
動態(tài)補償功能:通過PID算法實時調整閥門開度,維持流量設定值。
寬量程比與靈活性
量程覆蓋廣:支持從0.01 L/min到160 L/min的流量范圍,適應不同工藝需求。
多氣體校準:可針對多種氣體(如N?、H?、O?)進行校準,提高設備利用率。
智能化與集成化
數(shù)字通信接口:支持CANopen、PROFIBUS DP等協(xié)議,便于集成至工業(yè)網(wǎng)絡。
遠程監(jiān)控:通過上位機軟件實現(xiàn)流量監(jiān)控、參數(shù)設置和故障診斷。
環(huán)境適應性與可靠性
惡劣環(huán)境耐受:防護等級IP65,支持-10°C至+70°C工作環(huán)境。
長壽命設計:采用耐腐蝕材料(如316L不銹鋼),減少維護成本。
技術優(yōu)勢
直接質量流量測量
區(qū)別于體積流量計,直接測量氣體質量流量,避免溫壓補償誤差。
閉環(huán)控制算法
集成PID控制器,根據(jù)流量偏差實時調整控制信號,確??刂凭取?/p>
模塊化設計
可選配不同閥門、傳感器和通信模塊,靈活適配應用場景。
應用場景
半導體制造
控制晶圓加工中的氣體流量(如CVD工藝中的硅烷),確保薄膜均勻性。
新能源
燃料電池中氫氣流量控制,優(yōu)化能源轉換效率。
環(huán)保工程
垃圾焚燒廠煙氣流量監(jiān)測,確保環(huán)保達標。
科研實驗
實驗室氣相色譜儀載氣流量控制,提升分析精度。
醫(yī)療設備
麻醉機中氧氣/笑氣混合比控制,保障手術安全。
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