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分子泵在電機(jī)的帶動下高速旋轉(zhuǎn)，采用變頻電源驅(qū)動電機(jī)，目的是得到較高的轉(zhuǎn)速。在分子流區(qū)域內(nèi)，氣體分子與高速轉(zhuǎn)到的葉片表面碰撞，動量傳遞給氣體分子，使部分氣體分子在剛體表面的運(yùn)動方向上，產(chǎn)生定向流動而被排出泵外，從而達(dá)到抽氣的目的。通常把用高速運(yùn)動的剛體表面攜帶氣體分子，并使其按一定方向運(yùn)動的現(xiàn)象稱為分子牽引現(xiàn)象，利用這一現(xiàn)象制成的真空泵稱為牽引分子泵(蓋德泵)。牽引分子泵的優(yōu)點(diǎn)是啟動時(shí)間短，在分子流態(tài)下有很高的壓縮比，能抽除各種氣體和蒸氣，特別適于抽除較重的氣體。但由于牽引分子泵抽速小，密封間隙太小，工作可靠性較差，易出機(jī)械故障，而且制造困難，實(shí)際上很少應(yīng)用。后來對牽引分子泵進(jìn)行了改進(jìn)，出現(xiàn)了渦輪分子泵。渦輪分子泵內(nèi)有多組相間動輪葉和定輪葉，每一個(gè)輪葉上有許多按一定角度斜置的葉片，如圖一所示。實(shí)際的渦輪分子泵都是由多級葉列串聯(lián)組成，即按動片、定片、動片等依次交替排列。動葉片轉(zhuǎn)動時(shí)又類似于電風(fēng)扇葉片的作用，能將氣體從一側(cè)抽到另一側(cè)。提高分子泵的轉(zhuǎn)速，有利于提高分子泵的抽速。由于葉片轉(zhuǎn)速限制，如果氣體分子運(yùn)動速度較大，泵抽真空就比較困難。復(fù)合式分子泵是渦輪分子泵與牽引分子泵的串聯(lián)組合，集兩種泵的優(yōu)點(diǎn)于一體，能在很寬的壓力范圍10^-6-1Pa內(nèi)，具有較大的抽速和較高的壓縮比，大大提高了泵的出口壓力。