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1： 流量術(shù)語

體積流量：也叫工況流量，即單位時(shí)間內(nèi)實(shí)時(shí)溫度和壓力下流體流過管道橫截面的體積。小流量的代表單位一般為：ml/min和L/min。

標(biāo)況流量：通過溫度、壓力補(bǔ)償后得到的體積流量。標(biāo)況一般定義（1）壓力：1個(gè)大氣壓（101.325KPa）（2）溫度：0℃/15℃/20℃/25℃，具體溫度定義可自選。易度流量控制器默認(rèn)(25℃,101.325KPa)，單位一般為：SCCM和SLPM 。

質(zhì)量流量：單位時(shí)間內(nèi)流體流過管道橫截面的質(zhì)量 。易度質(zhì)量流量控制器測量出的是標(biāo)況流量，需要計(jì)算氣體實(shí)際質(zhì)量時(shí)，可用密度乘以標(biāo)況流量即可得出。

瞬時(shí)流量：當(dāng)時(shí)間很短時(shí)，流體流過一定截面的量稱為瞬時(shí)流量。                                                

累計(jì)流量：氣體通過某一截面的瞬時(shí)流量在一定時(shí)間內(nèi)的累積值。

設(shè)定流量：質(zhì)量流量控制器專用術(shù)語，MFC通過控制比例調(diào)節(jié)閥的開度使得流體流量穩(wěn)定在某一固定流量值，設(shè)定流量一般為標(biāo)況流量。

2 ：工況術(shù)語

工作溫度：包括被測介質(zhì)溫度和使用環(huán)境溫度。易度質(zhì)量流量控制器適用溫度范圍為：-50℃到110℃（介質(zhì)）。

工作壓力：指流經(jīng)質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器時(shí)，被測氣體的絕對靜壓。易度質(zhì)量流量控制器適用工作壓力一般為1MPa以下，最大不能超過3MPa。壓力單位一般為：MPa、KPa、

Pa、Psi，易度產(chǎn)品可自如切換。

耐壓：質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器在不損壞的情況下所能承受的最大壓力，易度質(zhì)量流量控制器一般可承受的壓力為1MPa,最大2.5MPa。

壓差：氣體流經(jīng)管路高壓端與低壓端的壓強(qiáng)差。

壓損：氣體流經(jīng)質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器而產(chǎn)生的不可恢復(fù)的壓力降。易度質(zhì)量流量計(jì)標(biāo)準(zhǔn)型號壓損為4KPa,最小可達(dá)400Pa。

預(yù)熱時(shí)間：主要針對熱式質(zhì)量流量控制器，是指加熱金屬絲達(dá)到溫度穩(wěn)定的時(shí)間。易度質(zhì)量流量控制器無需預(yù)熱，可直接使用。

通訊方式：質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器與配套設(shè)備控制系統(tǒng)之間的通訊，常用的有模擬信號和數(shù)字信號。易度質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器通訊方式可選：模擬信號(4-20)mA、(0-5)V，數(shù)字信號RS485、Profibus等。

管路連接：質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器與管路的連接方式，根據(jù)管路材質(zhì)（軟管、金屬硬管等）和管路內(nèi)外徑尺寸，可選卡套接頭、VCR接頭、快插接頭、快擰接頭等。

介質(zhì)：被測氣體的種類，易度質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器可測量單一純凈氣體，或明確氣體種類和比例的混合氣體。若為強(qiáng)腐蝕氣體，建議選用耐腐蝕型號。若為易燃易爆氣體，建議選用防爆型號。

3： 性能術(shù)語

量程：質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器可測得的最大流量，易度質(zhì)量流量控制器量程范圍：從0.5sccm到5000slpm。

量程比：質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器能夠測量控制的最大流量和最小流量比值，易度質(zhì)量流量控制器標(biāo)準(zhǔn)型量程比為100:1，也可定制更寬量程比。

精度：質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器測得的標(biāo)況流量顯示值與標(biāo)準(zhǔn)裝置流量值的誤差比。易度質(zhì)量流量控制器的精度為±1%S.P(設(shè)定值精度），最高可達(dá)±0.5%S.P(設(shè)定值精度）。

精度保證范圍：保證質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器精度的氣體流量范圍，易度質(zhì)量流量控制器標(biāo)準(zhǔn)型號為：20%-100%F.S（滿量程），寬量程型可達(dá)10%-100%F.S（滿量程）。

重復(fù)性：在同一工作條件下，質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器對同一輸入值按同一方向連續(xù)多次測量的輸出之間的相互一致程度，也叫重復(fù)性誤差，易度質(zhì)量流量控制器重復(fù)性可達(dá)±0.2%/F.S(滿量程）。

可靠性：質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器在一定時(shí)間內(nèi)、在一定條件下地執(zhí)行功能的能力或可能性。

響應(yīng)時(shí)間：質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器接通電源后至其達(dá)到規(guī)定性能指標(biāo)所需的時(shí)間，易度質(zhì)量流量控制器具有毫秒級響應(yīng)速度。

抗電磁干擾：電磁干擾是干擾電纜信號并降低信號完好性的現(xiàn)象，會造成流量計(jì)精度損失，特別是射頻電源對模擬信號的干擾現(xiàn)象尤為明顯，易度質(zhì)量流量控制器抗電磁干擾能力強(qiáng)，經(jīng)西安高壓電器研究所抗電磁干擾檢測認(rèn)證。