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產(chǎn)品型號(hào)

　精密液體氣相發(fā)生器

主要特點(diǎn)

   1、流體和氣體在一個(gè)316不銹鋼罐中加熱。

   2、采用30段程序化控溫。

   3、氣體流速通過(guò)浮子流量計(jì)控制。

   4、配有壓力表，可測(cè)出液氣混合罐中的氣體壓強(qiáng)。

   5、配有兩個(gè)不銹鋼針閥，以控制氣體進(jìn)出。

   6、可與本司所有管式爐和CVD系統(tǒng)相連接。

   7、已通過(guò)CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

   1、電源：?jiǎn)蜗?/span>AC208V-240V  50Hz/60Hz

   2、功率：1000W

   3、蠕動(dòng)泵：精確度±0.02%FS，流量0-80ml/min（可調(diào)）

   4、zui高工作溫度：300℃

   5、控溫精度：±1℃

   6、浮子流量計(jì)：0-2000ml/min（可調(diào)）

   7、出氣口：外徑1/4″

產(chǎn)品規(guī)格

　尺寸：350mm×335mm×300mm；重量：5kg

  加熱帶（纏繞在外接的管道上，以保證液體蒸汽在傳輸過(guò)程中不會(huì)液化。）