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產(chǎn)地類別	進口	價格區(qū)間	1千-1萬
應(yīng)用領(lǐng)域	環(huán)保,化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,電氣

ENTEGRIS 氣體過濾器WG2FT1RR2 WGFGT1PR1

的微粒過濾

高純度氣體系統(tǒng)過濾

對于超純氣體系統(tǒng)，您的是

帶有顆粒的 Wafergard® II F 微型在線氣體過濾器

去除率≥0.0015 µm。推薦給

惰性和反應(yīng)性氣體，這些過濾器提供出色的

與所有類別的半導體兼容

工藝氣體。

其緊湊的直徑使其易于安裝在

狹窄的氣體面板和櫥柜。

應(yīng)用

—

• 臭氧應(yīng)用（氣體）

• 氣柜

• 超純氣體系統(tǒng)

• 氣體面板

• 內(nèi)部流程工具

特點與優(yōu)勢

—

• 占地面積小，具有

最大直徑 19.05

mm (0.75") 允許安裝

即使空間有限

• 低壓降降低

冷凝的風險

低蒸氣壓氣體

• 潔凈室制造，

焊接和測試高

可靠性

• Teflon® PTFE 膜

提供高效率

過濾

材料過濾元件疏水 Teflon® PTFE 膜支持

通過模壓聚四氟乙烯 PFA 結(jié)構(gòu)

外殼電拋光 VAR 316L 不銹鋼

下游清潔度小于 0.03 個顆粒/升（<1 個顆粒/英尺

) 大于 0.01 µm

揮發(fā)物 <10 ppb 水分

去除率 ≥0.0015 µm

內(nèi)部表面光潔度 ≤7 µin Ra

氦泄漏等級合格 2 × 10?-10 cc-sec

經(jīng)測試 1 × 10?-9 cc-sec

操作條件最大入口壓力：

207 巴； (3000 psig) @ 23°C (73°F)

最大正向壓差：

4條； (60 psid) @ 23°C (73°F)

最大反向壓差：

0.07 MPa (0.7 bar; 10 psid) @ 23°C (73°F)

最高工作溫度：

120°C (248°F)

顆粒保留大于 99.9999999% (9 LRV) 去除所有顆粒@30 slpm

（穿透性的粒徑為參考）

流量等級參考性能數(shù)據(jù)

工作原理

Dynisco EchoTM 熔體壓力傳感器用于對熔融聚合物進行壓力測量，最高可達

752°F (400°C)。這些型號包含一個 350 歐姆的粘合箔應(yīng)變計惠斯通電橋。這證明

技術(shù)提供與熔體壓力成比例的 0-3.33 mV/V、4-20mA、05-VDC 和 0-10VDC 輸出

（在的誤差范圍內(nèi)）。大多數(shù)型號包括一個內(nèi)部分流校準（“Rcal"）功能，用于

模擬滿量程的 80% 的信號。這消除了對繁瑣的校準壓力源的需要，當

縮放相關(guān)的儀器。

安裝

在準備安裝之前不要取下保護蓋。

在初始安裝之前，按照圖 1 驗證安裝孔的正確加工。量規(guī)塞，P/N 200908，是

可用于此目的。

安裝前確保安裝

孔沒有材料。動力清潔

應(yīng)使用工具包 P/N 200100。

為防止磨損，輕輕涂抹換能器

帶高溫防卡劑的螺紋

材料。一個適當?shù)拿芊?，在一個適當?shù)?/p>

加工和維護安裝良好，是

用 100 in-lbs 獲得。安裝扭矩。

推薦的最大扭矩為 500

磅數(shù)

電子外殼應(yīng)固定，

帶有可選的安裝支架（P/N

200941），在環(huán)境

溫度不會超過 185°F (85°C)。

（安裝支架不隨 EchoTM 提供

楷模。）

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