在半導(dǎo)體行業(yè)，熱式質(zhì)量流量計(jì)控制器應(yīng)用較為廣泛，包括一些進(jìn)口品牌，例如Horiba、MKS、Brooks等日美品牌。
我司產(chǎn)品在實(shí)際應(yīng)用中體現(xiàn)出穩(wěn)定性好、精度準(zhǔn)、零漂小、響應(yīng)速度快等特點(diǎn)，并且考慮到在半導(dǎo)體相關(guān)設(shè)備的應(yīng)用中對于顆粒和潔凈的高要求，使產(chǎn)品所有與氣體接觸的表面均為金屬，同時所有與氣體接觸的金屬表面均進(jìn)行了嚴(yán)格的表面處理，保證一定的潔凈度要求。產(chǎn)品同時針對設(shè)備的通訊需求，可提供485Modbus，及DeviceNet等協(xié)議匹配上位機(jī)控制系統(tǒng)，同時帶有模擬電壓、模擬電流的信號輸入和輸出，客戶可以根據(jù)自己的需要選擇使用。
同時也考慮了產(chǎn)品的抗干擾能力，使其可以抵抗較強(qiáng)的電磁干擾。
DeviceNet協(xié)議流量控制器
485Modbus協(xié)議流量控制器
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