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更新時間：2024-12-31 09:51:45
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一、ACU20P系列 高精度前端后端腔體壓力控制器、壓力調(diào)節(jié)器 產(chǎn)品特點：
-- 標配一個壓力傳感器和數(shù)字電路板，提供高精度、快速穩(wěn)定、可靠的壓力控制，該PC數(shù)字板具有控制壓力所需的 所有功能。
-- 除了配備標準的RS485輸出信號，ACU20PCD還提供模擬量輸入/出信號，可通過調(diào)節(jié)設(shè)定值就能精準的控制整個 工藝過程。
-- 可裝配一體式控制閥或分體式控制閥。它是一種比例式電磁控制閥，具有超快和平穩(wěn)控制的特性。
二、應(yīng)用領(lǐng)域：
-- 半導(dǎo)體工藝，氣相和液相色譜儀，MOCVD過程中蒸汽壓力控制，擠塑成型過程中氣體壓力保護控制，高壓釜/反 應(yīng)釜壓力控制等。
三、ACU20P系列 高精度前端后端腔體壓力控制器、壓力調(diào)節(jié)器 產(chǎn)品參數(shù)：
（如所需性能與下述性能參數(shù)不同，請溝通定制。)
| 技術(shù)參數(shù) | 精度(包括線性和滯后性) | ≤±0.5%F.S | |||
| 壓力量程比 | 壓力計 | 1:100 | |||
| 壓力控制器 | 1:50 | ||||
| 重復(fù)性 | ≤0.1% | ||||
| 傳感器響應(yīng)時間 | 0.2s | ||||
| 控制穩(wěn)定性 | ≤±0.05%F.S(測定條件：1 L/min N2) | ||||
| 運行溫度 | -10~+70℃ | ||||
| 溫度敏感性 | 0.1%FS/℃ | ||||
| 漏率 | 1×10-9 SCCS He | ||||
| 方位影響度 （90°變化） | ＜0.03 KPa（絕壓/表壓傳感器） | ||||
| ＜0.6 KPa（差壓傳感器） | |||||
| 預(yù)熱時間 | 忽略不計 | ||||
| 機械部件 | 材質(zhì) | 不銹鋼 | |||
| 工藝連接 | G3/8" | ||||
| 密封材質(zhì) | 氟橡膠/丁腈橡膠/氯丁橡膠/聚四氟乙烯/全氟/乙丙橡膠其他 | ||||
| 防護等級（外殼） | IP40 | ||||
| 電氣特性 | 電源 | 15~24Vdc | |||
| 數(shù)字輸出 | RS485/RS232、profibus協(xié)議、Devicenet協(xié)議等 | ||||
| 電氣連接 | DB9 | ||||
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