1. 產(chǎn)品概述
立式/臥式管舟清洗機,如Bpure Series系列,采用先進的清洗工藝,能夠高效、清洗各種石英管、舟、碳化硅管及其它石英材質(zhì)的零部件,如石英板、點火炮、保溫桶等。這些設(shè)備不僅適用于12英寸及以下尺寸的擴散、外延等設(shè)備的清洗,還具備廣泛的兼容性,能夠滿足不同工藝和材料的清洗需求。
2. 設(shè)備用途/原理
立式/臥式管舟清洗設(shè)備廣泛應用于集成電路、功率半導體、化合物半導體等高科技領(lǐng)域,以及科研機構(gòu)的實驗室中。它們在這些領(lǐng)域中發(fā)揮著重要作用,確保了半導體器件和設(shè)備的生產(chǎn)質(zhì)量和可靠性。
3. 設(shè)備特點
全自動清洗:設(shè)備采用全自動控制系統(tǒng),操作簡便,能夠大幅度提高清洗效率,降低人工成本。
多種清洗工藝可選:設(shè)備提供浸泡式清洗與噴淋式清洗兩種工藝可選,用戶可根據(jù)實際需求選擇合適的清洗方式。
一機多用:設(shè)備設(shè)計靈活,可兼容多種石英管、舟及工件的清洗,滿足不同場合和工藝的需求。
自主研發(fā)控制系統(tǒng):配備自主研發(fā)的控制系統(tǒng),具有友好的人機交互界面,方便用戶操作和維護。
自動配液系統(tǒng):設(shè)備配備自動配液系統(tǒng),換酸便捷,能夠減少化學試劑的浪費,并降低操作風險。
分級安全互鎖設(shè)置:設(shè)備設(shè)有分級安全互鎖裝置,確保設(shè)備在運行過程中的安全性和可靠性。